12 月 29 日消息，據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道，阿斯麥?zhǔn)侨蚰壳拔ㄒ荒苤圃鞓O紫外光刻機(jī)的廠商，在推出 TWINSCAN NXE:3400B 和 NXE:3400C 這兩款極紫外光刻機(jī)之后，他們還在研發(fā)更先進(jìn)、效率更高的極紫外光刻機(jī)。
▲ 阿斯麥極紫外光刻機(jī)
在 10 月 14 日發(fā)布的三季度財(cái)報(bào)中，阿斯麥就披露他們新一代的極紫外光刻機(jī) TWINSCAN NXE:3600D，計(jì)劃在明年年中開(kāi)始出貨，生產(chǎn)效率較目前的產(chǎn)品提升 18%。
而從外媒的報(bào)道來(lái)看，除了 NXE:3600D，阿斯麥還在研發(fā)高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機(jī) NXE:5000 系列，設(shè)計(jì)已經(jīng)基本完成。
外媒在報(bào)道中也表示，雖然阿斯麥 NXE:5000 高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)的設(shè)計(jì)已基本完成，但商用還需時(shí)日，預(yù)計(jì)在 2022 年開(kāi)始商用。
作為一款高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機(jī)，NXE:5000 系列的數(shù)值孔徑將提高到 0.55，阿斯麥目前已推出的 TWINSCAN NXE:3400B 和 NXE:3400C 這兩款極紫外光刻機(jī)，數(shù)值孔徑為 0.33。
值得注意的，在阿斯麥高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機(jī)方面，月初也出現(xiàn)過(guò)相關(guān)的消息。
在月初報(bào)道 CEO 彼得 · 維尼克等阿斯麥高管，到訪三星電子并參觀三星電子的半導(dǎo)體工廠時(shí)，外媒表示三星希望獲得阿斯麥更多的極紫外光刻機(jī)、先于臺(tái)積電獲得高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)。
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