據(jù)業(yè)內透露，截至第二季度，ASML EUV 設備出貨總量達到 102 臺，隨著需求量的提高和客戶群的擴大，預計 2 年內累計供應量將增加 2 倍以上，標志著 EUV 時代正式拉開帷幕。
據(jù) ETNews 報道，過去四個季度（2020 年第三季度-2021 年第二季度），ASML EUV 設備出貨總計 40 臺，較之前四個季度（2019 年第三季度-2020 年第二季度）增長了 66%。ASML 今年的出貨目標是 40 臺左右，下半年將供應 25 臺左右。
ASML 擴大 EUV 設備供應響應了半導體制造業(yè)實現(xiàn)超微電路層的需求。盡管每臺設備的價格達到 1.71 億美元，但由于其卓越的工藝成本和省時效果，可以抵消設備采購的成本。業(yè)內人士指出，通過 EUV 可以降低設備成本和工藝成本，因此，在微加工領域引進 EUV 設備的企業(yè)越來越多。
根據(jù) ASML 的說法，5-7nm 邏輯半導體（以每月 45,000 顆晶圓為基準）每個 EUV 層需要一臺 EUV 設備，16nm 及以下節(jié)點 DRAM（以每月 100,000 顆晶圓為基準）每個 EUV 層則需要 1.5-2 臺設備。三星電子計劃，到今年下半年為止，將 14nm DDR5 DRAM 的 EUV 應用層數(shù)從 1 層增加到 5 層，SK 海力士也計劃增加 EUV 應用層數(shù)，因此，預計 EUV 設備的需求將進一步增加。
除了 EUV 層的增加，EUV 設備的客戶群也在逐漸擴大。繼 2018 年三星電子首次引進 7nm 制程的 EUV 設備后，臺積電和 SK 海力士也加入了 EUV 競爭。美國的美光和英特爾也在推進 EUV 設備的引進，預計市場規(guī)模將進一步擴大。
業(yè)界預測，EUV 時代將全面加速發(fā)展。因此，ASML 計劃通過增加設備供應來滿足需求。ASML 首席執(zhí)行官 Peter Wennink 在第二季度財報會議上表示:“我們計劃明年將 EUV 設備的產(chǎn)量增加到 55 臺，到 2023 年將達到 60 臺?！眱赡旰?，市場上將有 240 多臺 EUV 設備投入使用，超過了目前積累的供應量。
但據(jù)觀察，臺積電已確保了目前供應的半數(shù) EUV 設備。臺積電擁有約 50 臺 EUV 設備?？紤]到 EUV 設備的目前由 ASML 獨家供應，三星電子、SK 海力士等半導體企業(yè)很難在短時間內確保有足夠的設備。
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