芯東西 6 月 10 日?qǐng)?bào)道，近日，俄羅斯工業(yè)和貿(mào)易部宣布，將在 2022 年年底前限制氖氣、氪氣、氙 (xiān) 氣等稀有氣體的出口，這些氣體的出口必須獲得俄羅斯政府許可。據(jù)俄媒報(bào)道，俄羅斯或?qū)Α安挥押谩钡膰?guó)家發(fā)起氖氣制裁。
俄烏戰(zhàn)爭(zhēng)爆發(fā)至今，氖氣、氪氣、氙氣等稀有氣體價(jià)格均大幅上漲，高純氖氣更是上漲了十倍有余。本周一，A 股特種氣體概念股普遍上漲，其中華特氣體漲幅近 15%，昊華科技、和遠(yuǎn)氣體、金宏氣體等特種氣體供應(yīng)商股價(jià)均有上漲。
▲ 工業(yè)氣體板塊周一大漲
同時(shí)，俄烏戰(zhàn)爭(zhēng)以及隨后俄羅斯被多國(guó)制裁，更是推動(dòng)了國(guó)產(chǎn)玩家的擴(kuò)產(chǎn)和布局動(dòng)作。今年 3 月以來(lái)，華特電子、金宏氣體、凱美特氣、和遠(yuǎn)氣體等國(guó)內(nèi)關(guān)鍵供應(yīng)商，都發(fā)布了新的擴(kuò)產(chǎn)和布局計(jì)劃。
當(dāng)前的全球電子特種氣體市場(chǎng)中，美國(guó)空氣化工集團(tuán)、法國(guó)液化空氣集團(tuán)、日本大陽(yáng)日酸株式會(huì)社、美國(guó)林德集團(tuán)等行業(yè)龍頭占據(jù)了 80% 以上的市場(chǎng)份額。俄羅斯制裁、擴(kuò)產(chǎn)潮下的國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈氣體玩家，正由光刻用氣、硅烷、砷烷等細(xì)分領(lǐng)域開(kāi)始，逐步擴(kuò)大市場(chǎng)份額。
▲ 芯東西不完全統(tǒng)計(jì)國(guó)產(chǎn)特種氣體玩家擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃（截至 2022 年 6 月）
一、烏克蘭氖氣供應(yīng)商卷入戰(zhàn)火，或僅滿足全球一半需求
氖氣是鋼鐵煉化的副產(chǎn)物，其主要產(chǎn)地為烏克蘭和俄羅斯，俄羅斯的鋼鐵產(chǎn)業(yè)將產(chǎn)生的氖氣送到烏克蘭，并進(jìn)行提純等操作。而高純度的稀有氣體（氪、氖、氙、氟等）混合氣體可用做光刻氣，是半導(dǎo)體制造光刻工序中的一種關(guān)鍵材料。此外，這些稀有氣體也可用于刻蝕等其他環(huán)節(jié)。
烏克蘭主要的氖氣供應(yīng)商有 Cryoin、Ingas 和 Iceblick 等公司，其主要生產(chǎn)基地位于烏克蘭的馬里烏波爾、敖德薩等地?？偟膩?lái)說(shuō)，烏克蘭供應(yīng)了全球 70% 的氖氣、40% 的氪氣，以及 30% 的氙氣。
俄烏戰(zhàn)爭(zhēng)爆發(fā)后，烏克蘭氣體供應(yīng)商的生產(chǎn)和銷售均遭到了很大的影響，有的公司生產(chǎn)基地甚至成為了戰(zhàn)爭(zhēng)的核心戰(zhàn)場(chǎng)。
▲ 馬里烏波爾鋼鐵廠
Ingas 公司首席商務(wù)官 Nikolay Avdzhy 在給路透社的一封電子郵件中說(shuō)，沖突爆發(fā)之前，Ingas 公司每月能為韓國(guó)、中國(guó)、美國(guó)和德國(guó)的客戶生產(chǎn) 1.5 萬(wàn)至 2 萬(wàn)立方米的氖氣，其中約 75% 的氖氣用于芯片行業(yè)。
Cryoin 公司的業(yè)務(wù)發(fā)展總監(jiān)拉里薩-邦達(dá)連科（Larissa Bondarenko）則稱，該公司在烏克蘭敖德薩每月大約能生產(chǎn) 1 萬(wàn)至 1.5 萬(wàn)立方米的氖氣，但該公司在 2 月 24 日就停止了運(yùn)營(yíng)，以保證員工的安全。
據(jù)統(tǒng)計(jì)，這兩家烏克蘭氣體公司供應(yīng)了全球 45%-54% 的半導(dǎo)體級(jí)氖氣。有分析師稱，如果烏克蘭的氖氣生產(chǎn)商繼續(xù)關(guān)閉，2022 年，該國(guó)氖氣產(chǎn)能將不超過(guò) 270 噸。
盡管烏克蘭氖氣供應(yīng)能力下降較大，但目前氖氣的供應(yīng)短缺和成本上漲，仍未對(duì)芯片制造造成關(guān)鍵影響。因?yàn)?2015 年，半導(dǎo)體行業(yè)已經(jīng)經(jīng)歷過(guò)一輪稀有氣體暴漲風(fēng)波，普遍有了預(yù)警和準(zhǔn)備。
早在 2015 年，烏克蘭和俄羅斯之間的沖突就導(dǎo)致氖氣價(jià)格一路上漲，當(dāng)時(shí)氖氣價(jià)格上漲了 600%，對(duì)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈造成了較大影響。
在 2015 年后，半導(dǎo)體企業(yè)普遍對(duì)氖氣供應(yīng)進(jìn)行了開(kāi)源和節(jié)流舉措，在減少氖氣用量的同時(shí)，轉(zhuǎn)向多元的供應(yīng)模式。
從節(jié)流上來(lái)說(shuō)，Cymer 和 Gigaphoton 兩大光刻機(jī)光源供應(yīng)商在 2014 年、2015 年氖氣大漲價(jià)后，就針對(duì)性地降低了氖氣的使用量，并開(kāi)發(fā)了氖氣回收循環(huán)技術(shù)，降低了 97% 的氖氣用量。
開(kāi)源上來(lái)說(shuō)，SK 海力士、英特爾、ASML、臺(tái)積電、美光等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)強(qiáng)調(diào)具備多個(gè)氖氣供應(yīng)來(lái)源。本次俄烏戰(zhàn)爭(zhēng)爆發(fā)后，這些廠商均稱有較多庫(kù)存，認(rèn)為烏克蘭和俄羅斯兩地的斷供在短期內(nèi)難以影響其生產(chǎn)。
但也有業(yè)內(nèi)人士指出，大多企業(yè)的稀有氣體庫(kù)存在六個(gè)月以內(nèi)，如果俄烏戰(zhàn)爭(zhēng)持續(xù)時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，氖氣的供應(yīng)短缺仍會(huì)對(duì)芯片供應(yīng)造成損害。
根據(jù)浙商證券研報(bào)，2022 年 6 月 2 日，中國(guó)氪氣市場(chǎng)價(jià)為 5.45 萬(wàn)元 / 立方，氙氣市場(chǎng)價(jià)為 54.3 萬(wàn)元 / 立方，氖氣市場(chǎng)價(jià)為 1.8 萬(wàn)元 / 立方，氪氣、氙氣相比戰(zhàn)爭(zhēng)前均有 2-3 倍增長(zhǎng)，氖氣戰(zhàn)前價(jià)格更是僅有 1500 / 立方左右。
▲ 高純氖氣出廠及市場(chǎng)價(jià)格變化（圖片來(lái)源：浙商證券）
二、國(guó)產(chǎn)氣體供應(yīng)商快速成長(zhǎng)，獲 ASML、英特爾、美光認(rèn)證
英特爾、ASML 和美光等國(guó)際巨頭面對(duì)氖氣短缺有較大的底氣的背后，有著國(guó)產(chǎn)相關(guān)氣體供應(yīng)商快速成長(zhǎng)的影子。
特種氣體指運(yùn)用在特定領(lǐng)域，對(duì)純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體，混合的氖氪氙等氣體就是特種氣體中的一類。
▲ 電子氣體在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的應(yīng)用（圖片來(lái)源：安信證券）
對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)，所需特種氣體種類豐富，在芯片制造環(huán)節(jié)的硅片制造、氧化、光刻、薄膜沉積、刻蝕、離子注入等工序所需特種氣體種類超過(guò) 50 種，下游客戶往往希望能在一家供應(yīng)商完成多種產(chǎn)品的采購(gòu)，對(duì)供應(yīng)商的產(chǎn)品種類和技術(shù)都提出了較高要求。
電子特種氣體領(lǐng)域，德國(guó)林德集團(tuán)、法國(guó)液化空氣集團(tuán)和美國(guó)空氣化工產(chǎn)品集團(tuán)是全球最大的三家氣體供應(yīng)商，2019 年合計(jì)占據(jù)了全球電子氣體 70% 的市場(chǎng)份額。
▲ 2019 年全球工業(yè)氣體市場(chǎng)份額（圖片來(lái)源：安信證券）
在國(guó)產(chǎn)玩家中，成立于 1999 年、2019 年于科創(chuàng)板上市的華特氣體是國(guó)產(chǎn)特種氣體玩家的代表。
華特氣體則是國(guó)內(nèi)首家打破高純六氟乙烷、高純?nèi)淄?、高純八氟丙烷、高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純一氧化氮、Ar / F / Ne 混合氣、Kr / Ne 混合氣、Ar / Ne 混合氣、Kr / F / Ne 混合氣等產(chǎn)品進(jìn)口制約的氣體公司，其還是我國(guó)目前唯一通過(guò) ASML 和日本光刻機(jī)激光光源供應(yīng)商 Gigaphoton 認(rèn)證的氣體公司。
在德國(guó)林德集團(tuán)、法國(guó)液化空氣集團(tuán)和美國(guó)空氣化工產(chǎn)品集團(tuán)以及日本昭和電工等國(guó)外氣體公司寡頭壟斷的情況下，華特氣體對(duì)國(guó)內(nèi) 8 英寸集成電路制造商的覆蓋率超過(guò) 80%，客戶包括中芯國(guó)際、華虹宏力、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、武漢新芯、華潤(rùn)微電子、臺(tái)積電（中國(guó)）、和艦科技、士蘭微等，并進(jìn)入了英特爾、美光、德州儀器、SK 海力士、英飛凌等國(guó)際芯片巨頭產(chǎn)線。
2014 年、2015 年俄烏沖突后，華特氣體的氖氣、氪氣供應(yīng)開(kāi)始從烏克蘭轉(zhuǎn)向中國(guó)。
根據(jù) 2019 年華特氣體招股書，其粗氖氣供應(yīng)主要來(lái)自北京首鋼氧氣廠、臨沂啟元?dú)怏w有限公司、邯鄲市邯鋼附企特種氣體有限公司等國(guó)內(nèi)企業(yè)，背靠烏克蘭氖氣供應(yīng)的氣體經(jīng)銷商 EAST RAY DISTRIBUTIONS LTD 份額清零。
▲ 華特氣體氖氣供應(yīng)情況（圖片來(lái)源：華特氣體招股書）
其氪氣供應(yīng)也從 EAST RAY DISTRIBUTIONS LTD 變?yōu)榘不仗炖蕷怏w發(fā)展有限公司、北京首鋼氧氣廠、法國(guó)液化空氣集團(tuán)、韓國(guó) KOREA NOBLE GAS CO.,LTD 等公司。
今年 4 月，華特氣體宣布將向不特定對(duì)象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券，以募集資金建設(shè)年產(chǎn) 1764 噸半導(dǎo)體材料建設(shè)項(xiàng)目、研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目和補(bǔ)充流動(dòng)資金。
其中年產(chǎn) 1764 噸半導(dǎo)體材料建設(shè)項(xiàng)目計(jì)劃投資 4.66 億，計(jì)劃兩年后投產(chǎn)，建成后將生產(chǎn)高純一氧化碳、高純一氧化氮、六氟丙烷及異構(gòu)體、溴化氫、三氯化硼、超高純氫氣、超純氪氣、超純氖氣、超純氦氣和超純氙氣共 1764 噸。
截至 6 月 10 日 A 股收盤，華特氣體股價(jià)為 71.01 元 / 股，漲幅 5.39%，總市值 85.21 億元。
三、四大國(guó)產(chǎn)玩家集體擴(kuò)產(chǎn)，專攻半導(dǎo)體特氣
除了華特氣體，南大光電、凱美特氣、昊華科技以及和遠(yuǎn)氣體等國(guó)產(chǎn)特種氣體供應(yīng)商都開(kāi)始了新的布局和擴(kuò)產(chǎn)。
金宏氣體成立于 1999 年，總部位于蘇州市，并于 2020 年 6 月在科創(chuàng)板上市。招股書顯示，其超純氨、高純氧化亞氮等超高純氣體得到了國(guó)內(nèi)知名電子半導(dǎo)體廠商的認(rèn)可。
▲ 金宏氣體產(chǎn)品展示
2022 年 3 月，金宏氣體宣布，開(kāi)始布局氦氣全產(chǎn)業(yè)鏈，開(kāi)啟國(guó)內(nèi)少有的“儲(chǔ)氦”和“運(yùn)氦”業(yè)務(wù)。其公司官網(wǎng)顯示，2020 年以來(lái)中國(guó)從國(guó)際市場(chǎng)上獲得氦氣正變得越來(lái)越困難。
一方面，全球新冠肺炎疫情讓氦氣生產(chǎn)和運(yùn)輸受到較大影響；另一方面，俄烏戰(zhàn)爭(zhēng)爆發(fā)后，法國(guó)液化空氣集團(tuán)等國(guó)際氣體巨頭集體對(duì)俄羅斯進(jìn)行“制裁”，使后者在氦氣生產(chǎn)、運(yùn)送和銷售上舉步維艱。此外，中美關(guān)系的緊張，也導(dǎo)致購(gòu)買氦氣的難度較高。
截至今日收盤，金宏氣體股價(jià)為 19.30 元 / 股，漲幅 2.55%，總市值 93.73 億元。
凱美特氣則成立于 1991 年，總部位于湖南省岳陽(yáng)市，主要從事干冰、食品添加劑液體二氧化碳以及其他工業(yè)氣體業(yè)務(wù)。2011 年 2 月，凱美特氣登陸深交所主板。
▲ 凱美特氣
2017 年，凱美特氣建設(shè) 25 套電子特種氣體生產(chǎn)裝置，進(jìn)軍半導(dǎo)體領(lǐng)域。今年 3 月，凱美特氣在投資者交流活動(dòng)中，著重分享了氪氖氙氣體的產(chǎn)能情況，其中氪 11750 立方米 / 年、氙 900 立方米 / 年、氖 6.8 萬(wàn)立方米 / 年。此外，凱美特氣還計(jì)劃在上游的巴陵石化空分新建裝置加裝稀有氣體提取裝置，預(yù)計(jì)在未來(lái)將實(shí)現(xiàn)稀有氣體氦、氖、氪、氙的自給自足。
3 月 18 日，凱美特氣計(jì)劃募資 10 億，建設(shè)宜章凱美特特種氣體項(xiàng)目和福建過(guò)氧化氫項(xiàng)目。宜章凱美特特種氣體項(xiàng)目投資 7.5 億，建成后產(chǎn)品主要包括電子級(jí)氯化氫、電子級(jí)溴化氫、電子級(jí)碘化氫、氟基混配氣、電子級(jí)三氟化氯、電子級(jí)乙炔 (quē)、氘氣等。
福建凱美特過(guò)氧化氫項(xiàng)目投資總額 5.2 億，計(jì)劃年產(chǎn) 30 萬(wàn)噸的食品、電子級(jí)過(guò)氧化氫，其產(chǎn)品可用于清洗和刻蝕大規(guī)模集成電路、LCD 及半導(dǎo)體領(lǐng)域。
在投資者問(wèn)答中，凱美特氣還提到，其電子特種氣體產(chǎn)品正多批次送樣中，并正在積極推進(jìn) ASML 認(rèn)證。
▲ 凱美特氣投資者問(wèn)答
今日收盤后，凱美特氣股價(jià)為 15.26 元 / 股，漲幅 10.02%，總市值 95.18 億元。
和遠(yuǎn)氣體成立于 2003 年，總部位于湖北省宜昌市，2020 年在深交所主板掛牌上市。其產(chǎn)品有氬氣、氦氣、醫(yī)用氧氣、工業(yè)氧氣、氮?dú)庖约疤胤N氣體等，客戶包括臺(tái)基半導(dǎo)體、智睿半導(dǎo)體、奇宏光電等、TCL 等。
今年 3 月，和遠(yuǎn)氣體投資成立和遠(yuǎn)新材料，在宜昌高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)建設(shè)電子特氣及功性能材料項(xiàng)目，項(xiàng)目一期總投資為 18 億元。該項(xiàng)目主要產(chǎn)品為三氟化氮、六氟丁二烯等電子特氣以及功能性硅烷，可被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、微電子、太陽(yáng)能電池、光纖等領(lǐng)域。
▲ 和遠(yuǎn)氣體擴(kuò)產(chǎn)公告
其項(xiàng)目公示文件寫道，國(guó)內(nèi)對(duì)含氟電子特種氣體工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)存在迫切需求，由于受歐美日韓等發(fā)達(dá)國(guó)家技術(shù)嚴(yán)密封鎖，而導(dǎo)致含氟電子特種氣體制備成為一種“卡脖子”技術(shù)。
該項(xiàng)目生產(chǎn)的含氟電子特種氣體則是人工智能芯片、超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器和半導(dǎo)體材料制造的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，對(duì)促進(jìn)我國(guó)芯片“自主、可控”有著重要意義。
截至今天收盤，和遠(yuǎn)氣體股價(jià) 22.52 元 / 股，漲幅 3.73%，總市值 36.03 億元。
南大光電創(chuàng)辦于 2000 年，起源于南京大學(xué)教授孫祥禎承擔(dān)的“高純度金屬有機(jī)化合物（MO 源）”國(guó)家“七五”科技項(xiàng)目，并于 2012 年在深交所上市。此后，南大光電業(yè)務(wù)逐漸由半導(dǎo)體 MO 源材料，擴(kuò)展至光刻膠、前驅(qū)體材料和特種氣體等。
今年 6 月，南大光電提交向不特定對(duì)象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券募集說(shuō)明書，計(jì)劃募資 9 億元。南大光電披露，將投資 1 億元用于年產(chǎn) 140 噸高純磷烷、砷烷擴(kuò)產(chǎn)及砷烷技改項(xiàng)目，5 億元用于烏蘭察布南大微電子材料有限公司年產(chǎn) 7200T 電子級(jí)三氟化氮項(xiàng)目。
▲ 南大光電創(chuàng)始人、名譽(yù)董事長(zhǎng)孫祥禎
今日收盤后，南大光電股價(jià)為 30.71 元 / 股，總市值 166.98 億元，漲幅 2.64%。
結(jié)語(yǔ)：各國(guó)角力半導(dǎo)體，國(guó)產(chǎn)特種氣體玩家或遇發(fā)展良機(jī)
這次俄烏沖突在戰(zhàn)事之外，更上演了一場(chǎng)半導(dǎo)體乃至整個(gè)科技行業(yè)的角力賽。
美國(guó)、歐洲等國(guó)家和地區(qū)利用在芯片設(shè)計(jì)領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)，對(duì)俄羅斯半導(dǎo)體和科技產(chǎn)業(yè)發(fā)起制裁；俄羅斯則利用稀有氣體等供應(yīng)方面的優(yōu)勢(shì)進(jìn)行反制，從而影響了整個(gè)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈。
對(duì)于中國(guó)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈來(lái)說(shuō)，自主、安全仍是發(fā)展的關(guān)鍵。本次氖氣短缺，或成為國(guó)產(chǎn)特種氣體供應(yīng)商加速打入晶圓廠產(chǎn)線的契機(jī)，從而占據(jù)更大的市場(chǎng)地位。
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