芯東西 6 月 10 日報道，近日，俄羅斯工業(yè)和貿(mào)易部宣布，將在 2022 年年底前限制氖氣、氪氣、氙 (xiān) 氣等稀有氣體的出口，這些氣體的出口必須獲得俄羅斯政府許可。據(jù)俄媒報道，俄羅斯或?qū)Α安挥押谩钡膰野l(fā)起氖氣制裁。
俄烏戰(zhàn)爭爆發(fā)至今，氖氣、氪氣、氙氣等稀有氣體價格均大幅上漲，高純氖氣更是上漲了十倍有余。本周一，A 股特種氣體概念股普遍上漲，其中華特氣體漲幅近 15%，昊華科技、和遠(yuǎn)氣體、金宏氣體等特種氣體供應(yīng)商股價均有上漲。
▲ 工業(yè)氣體板塊周一大漲
同時，俄烏戰(zhàn)爭以及隨后俄羅斯被多國制裁，更是推動了國產(chǎn)玩家的擴(kuò)產(chǎn)和布局動作。今年 3 月以來，華特電子、金宏氣體、凱美特氣、和遠(yuǎn)氣體等國內(nèi)關(guān)鍵供應(yīng)商，都發(fā)布了新的擴(kuò)產(chǎn)和布局計劃。
當(dāng)前的全球電子特種氣體市場中，美國空氣化工集團(tuán)、法國液化空氣集團(tuán)、日本大陽日酸株式會社、美國林德集團(tuán)等行業(yè)龍頭占據(jù)了 80% 以上的市場份額。俄羅斯制裁、擴(kuò)產(chǎn)潮下的國產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈氣體玩家，正由光刻用氣、硅烷、砷烷等細(xì)分領(lǐng)域開始，逐步擴(kuò)大市場份額。
▲ 芯東西不完全統(tǒng)計國產(chǎn)特種氣體玩家擴(kuò)產(chǎn)計劃（截至 2022 年 6 月）
一、烏克蘭氖氣供應(yīng)商卷入戰(zhàn)火，或僅滿足全球一半需求
氖氣是鋼鐵煉化的副產(chǎn)物，其主要產(chǎn)地為烏克蘭和俄羅斯，俄羅斯的鋼鐵產(chǎn)業(yè)將產(chǎn)生的氖氣送到烏克蘭，并進(jìn)行提純等操作。而高純度的稀有氣體（氪、氖、氙、氟等）混合氣體可用做光刻氣，是半導(dǎo)體制造光刻工序中的一種關(guān)鍵材料。此外，這些稀有氣體也可用于刻蝕等其他環(huán)節(jié)。
烏克蘭主要的氖氣供應(yīng)商有 Cryoin、Ingas 和 Iceblick 等公司，其主要生產(chǎn)基地位于烏克蘭的馬里烏波爾、敖德薩等地。總的來說，烏克蘭供應(yīng)了全球 70% 的氖氣、40% 的氪氣，以及 30% 的氙氣。
俄烏戰(zhàn)爭爆發(fā)后，烏克蘭氣體供應(yīng)商的生產(chǎn)和銷售均遭到了很大的影響，有的公司生產(chǎn)基地甚至成為了戰(zhàn)爭的核心戰(zhàn)場。
▲ 馬里烏波爾鋼鐵廠
Ingas 公司首席商務(wù)官 Nikolay Avdzhy 在給路透社的一封電子郵件中說，沖突爆發(fā)之前，Ingas 公司每月能為韓國、中國、美國和德國的客戶生產(chǎn) 1.5 萬至 2 萬立方米的氖氣，其中約 75% 的氖氣用于芯片行業(yè)。
Cryoin 公司的業(yè)務(wù)發(fā)展總監(jiān)拉里薩-邦達(dá)連科（Larissa Bondarenko）則稱，該公司在烏克蘭敖德薩每月大約能生產(chǎn) 1 萬至 1.5 萬立方米的氖氣，但該公司在 2 月 24 日就停止了運(yùn)營，以保證員工的安全。
據(jù)統(tǒng)計，這兩家烏克蘭氣體公司供應(yīng)了全球 45%-54% 的半導(dǎo)體級氖氣。有分析師稱，如果烏克蘭的氖氣生產(chǎn)商繼續(xù)關(guān)閉，2022 年，該國氖氣產(chǎn)能將不超過 270 噸。
盡管烏克蘭氖氣供應(yīng)能力下降較大，但目前氖氣的供應(yīng)短缺和成本上漲，仍未對芯片制造造成關(guān)鍵影響。因?yàn)?2015 年，半導(dǎo)體行業(yè)已經(jīng)經(jīng)歷過一輪稀有氣體暴漲風(fēng)波，普遍有了預(yù)警和準(zhǔn)備。
早在 2015 年，烏克蘭和俄羅斯之間的沖突就導(dǎo)致氖氣價格一路上漲，當(dāng)時氖氣價格上漲了 600%，對半導(dǎo)體供應(yīng)鏈造成了較大影響。
在 2015 年后，半導(dǎo)體企業(yè)普遍對氖氣供應(yīng)進(jìn)行了開源和節(jié)流舉措，在減少氖氣用量的同時，轉(zhuǎn)向多元的供應(yīng)模式。
從節(jié)流上來說，Cymer 和 Gigaphoton 兩大光刻機(jī)光源供應(yīng)商在 2014 年、2015 年氖氣大漲價后，就針對性地降低了氖氣的使用量，并開發(fā)了氖氣回收循環(huán)技術(shù)，降低了 97% 的氖氣用量。
開源上來說，SK 海力士、英特爾、ASML、臺積電、美光等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)強(qiáng)調(diào)具備多個氖氣供應(yīng)來源。本次俄烏戰(zhàn)爭爆發(fā)后，這些廠商均稱有較多庫存，認(rèn)為烏克蘭和俄羅斯兩地的斷供在短期內(nèi)難以影響其生產(chǎn)。
但也有業(yè)內(nèi)人士指出，大多企業(yè)的稀有氣體庫存在六個月以內(nèi)，如果俄烏戰(zhàn)爭持續(xù)時間過長，氖氣的供應(yīng)短缺仍會對芯片供應(yīng)造成損害。
根據(jù)浙商證券研報，2022 年 6 月 2 日，中國氪氣市場價為 5.45 萬元 / 立方，氙氣市場價為 54.3 萬元 / 立方，氖氣市場價為 1.8 萬元 / 立方，氪氣、氙氣相比戰(zhàn)爭前均有 2-3 倍增長，氖氣戰(zhàn)前價格更是僅有 1500 / 立方左右。
▲ 高純氖氣出廠及市場價格變化（圖片來源：浙商證券）
二、國產(chǎn)氣體供應(yīng)商快速成長，獲 ASML、英特爾、美光認(rèn)證
英特爾、ASML 和美光等國際巨頭面對氖氣短缺有較大的底氣的背后，有著國產(chǎn)相關(guān)氣體供應(yīng)商快速成長的影子。
特種氣體指運(yùn)用在特定領(lǐng)域，對純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體，混合的氖氪氙等氣體就是特種氣體中的一類。
▲ 電子氣體在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的應(yīng)用（圖片來源：安信證券）
對于半導(dǎo)體行業(yè)，所需特種氣體種類豐富，在芯片制造環(huán)節(jié)的硅片制造、氧化、光刻、薄膜沉積、刻蝕、離子注入等工序所需特種氣體種類超過 50 種，下游客戶往往希望能在一家供應(yīng)商完成多種產(chǎn)品的采購，對供應(yīng)商的產(chǎn)品種類和技術(shù)都提出了較高要求。
電子特種氣體領(lǐng)域，德國林德集團(tuán)、法國液化空氣集團(tuán)和美國空氣化工產(chǎn)品集團(tuán)是全球最大的三家氣體供應(yīng)商，2019 年合計占據(jù)了全球電子氣體 70% 的市場份額。
▲ 2019 年全球工業(yè)氣體市場份額（圖片來源：安信證券）
在國產(chǎn)玩家中，成立于 1999 年、2019 年于科創(chuàng)板上市的華特氣體是國產(chǎn)特種氣體玩家的代表。
華特氣體則是國內(nèi)首家打破高純六氟乙烷、高純?nèi)淄?、高純八氟丙烷、高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純一氧化氮、Ar / F / Ne 混合氣、Kr / Ne 混合氣、Ar / Ne 混合氣、Kr / F / Ne 混合氣等產(chǎn)品進(jìn)口制約的氣體公司，其還是我國目前唯一通過 ASML 和日本光刻機(jī)激光光源供應(yīng)商 Gigaphoton 認(rèn)證的氣體公司。
在德國林德集團(tuán)、法國液化空氣集團(tuán)和美國空氣化工產(chǎn)品集團(tuán)以及日本昭和電工等國外氣體公司寡頭壟斷的情況下，華特氣體對國內(nèi) 8 英寸集成電路制造商的覆蓋率超過 80%，客戶包括中芯國際、華虹宏力、長江存儲、武漢新芯、華潤微電子、臺積電（中國）、和艦科技、士蘭微等，并進(jìn)入了英特爾、美光、德州儀器、SK 海力士、英飛凌等國際芯片巨頭產(chǎn)線。
2014 年、2015 年俄烏沖突后，華特氣體的氖氣、氪氣供應(yīng)開始從烏克蘭轉(zhuǎn)向中國。
根據(jù) 2019 年華特氣體招股書，其粗氖氣供應(yīng)主要來自北京首鋼氧氣廠、臨沂啟元?dú)怏w有限公司、邯鄲市邯鋼附企特種氣體有限公司等國內(nèi)企業(yè)，背靠烏克蘭氖氣供應(yīng)的氣體經(jīng)銷商 EAST RAY DISTRIBUTIONS LTD 份額清零。
▲ 華特氣體氖氣供應(yīng)情況（圖片來源：華特氣體招股書）
其氪氣供應(yīng)也從 EAST RAY DISTRIBUTIONS LTD 變?yōu)榘不仗炖蕷怏w發(fā)展有限公司、北京首鋼氧氣廠、法國液化空氣集團(tuán)、韓國 KOREA NOBLE GAS CO.,LTD 等公司。
今年 4 月，華特氣體宣布將向不特定對象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券，以募集資金建設(shè)年產(chǎn) 1764 噸半導(dǎo)體材料建設(shè)項(xiàng)目、研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目和補(bǔ)充流動資金。
其中年產(chǎn) 1764 噸半導(dǎo)體材料建設(shè)項(xiàng)目計劃投資 4.66 億，計劃兩年后投產(chǎn)，建成后將生產(chǎn)高純一氧化碳、高純一氧化氮、六氟丙烷及異構(gòu)體、溴化氫、三氯化硼、超高純氫氣、超純氪氣、超純氖氣、超純氦氣和超純氙氣共 1764 噸。
截至 6 月 10 日 A 股收盤，華特氣體股價為 71.01 元 / 股，漲幅 5.39%，總市值 85.21 億元。
三、四大國產(chǎn)玩家集體擴(kuò)產(chǎn)，專攻半導(dǎo)體特氣
除了華特氣體，南大光電、凱美特氣、昊華科技以及和遠(yuǎn)氣體等國產(chǎn)特種氣體供應(yīng)商都開始了新的布局和擴(kuò)產(chǎn)。
金宏氣體成立于 1999 年，總部位于蘇州市，并于 2020 年 6 月在科創(chuàng)板上市。招股書顯示，其超純氨、高純氧化亞氮等超高純氣體得到了國內(nèi)知名電子半導(dǎo)體廠商的認(rèn)可。
▲ 金宏氣體產(chǎn)品展示
2022 年 3 月，金宏氣體宣布，開始布局氦氣全產(chǎn)業(yè)鏈，開啟國內(nèi)少有的“儲氦”和“運(yùn)氦”業(yè)務(wù)。其公司官網(wǎng)顯示，2020 年以來中國從國際市場上獲得氦氣正變得越來越困難。
一方面，全球新冠肺炎疫情讓氦氣生產(chǎn)和運(yùn)輸受到較大影響；另一方面，俄烏戰(zhàn)爭爆發(fā)后，法國液化空氣集團(tuán)等國際氣體巨頭集體對俄羅斯進(jìn)行“制裁”，使后者在氦氣生產(chǎn)、運(yùn)送和銷售上舉步維艱。此外，中美關(guān)系的緊張，也導(dǎo)致購買氦氣的難度較高。
截至今日收盤，金宏氣體股價為 19.30 元 / 股，漲幅 2.55%，總市值 93.73 億元。
凱美特氣則成立于 1991 年，總部位于湖南省岳陽市，主要從事干冰、食品添加劑液體二氧化碳以及其他工業(yè)氣體業(yè)務(wù)。2011 年 2 月，凱美特氣登陸深交所主板。
▲ 凱美特氣
2017 年，凱美特氣建設(shè) 25 套電子特種氣體生產(chǎn)裝置，進(jìn)軍半導(dǎo)體領(lǐng)域。今年 3 月，凱美特氣在投資者交流活動中，著重分享了氪氖氙氣體的產(chǎn)能情況，其中氪 11750 立方米 / 年、氙 900 立方米 / 年、氖 6.8 萬立方米 / 年。此外，凱美特氣還計劃在上游的巴陵石化空分新建裝置加裝稀有氣體提取裝置，預(yù)計在未來將實(shí)現(xiàn)稀有氣體氦、氖、氪、氙的自給自足。
3 月 18 日，凱美特氣計劃募資 10 億，建設(shè)宜章凱美特特種氣體項(xiàng)目和福建過氧化氫項(xiàng)目。宜章凱美特特種氣體項(xiàng)目投資 7.5 億，建成后產(chǎn)品主要包括電子級氯化氫、電子級溴化氫、電子級碘化氫、氟基混配氣、電子級三氟化氯、電子級乙炔 (quē)、氘氣等。
福建凱美特過氧化氫項(xiàng)目投資總額 5.2 億，計劃年產(chǎn) 30 萬噸的食品、電子級過氧化氫，其產(chǎn)品可用于清洗和刻蝕大規(guī)模集成電路、LCD 及半導(dǎo)體領(lǐng)域。
在投資者問答中，凱美特氣還提到，其電子特種氣體產(chǎn)品正多批次送樣中，并正在積極推進(jìn) ASML 認(rèn)證。
▲ 凱美特氣投資者問答
今日收盤后，凱美特氣股價為 15.26 元 / 股，漲幅 10.02%，總市值 95.18 億元。
和遠(yuǎn)氣體成立于 2003 年，總部位于湖北省宜昌市，2020 年在深交所主板掛牌上市。其產(chǎn)品有氬氣、氦氣、醫(yī)用氧氣、工業(yè)氧氣、氮?dú)庖约疤胤N氣體等，客戶包括臺基半導(dǎo)體、智睿半導(dǎo)體、奇宏光電等、TCL 等。
今年 3 月，和遠(yuǎn)氣體投資成立和遠(yuǎn)新材料，在宜昌高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)建設(shè)電子特氣及功性能材料項(xiàng)目，項(xiàng)目一期總投資為 18 億元。該項(xiàng)目主要產(chǎn)品為三氟化氮、六氟丁二烯等電子特氣以及功能性硅烷，可被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、微電子、太陽能電池、光纖等領(lǐng)域。
▲ 和遠(yuǎn)氣體擴(kuò)產(chǎn)公告
其項(xiàng)目公示文件寫道，國內(nèi)對含氟電子特種氣體工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)存在迫切需求，由于受歐美日韓等發(fā)達(dá)國家技術(shù)嚴(yán)密封鎖，而導(dǎo)致含氟電子特種氣體制備成為一種“卡脖子”技術(shù)。
該項(xiàng)目生產(chǎn)的含氟電子特種氣體則是人工智能芯片、超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器和半導(dǎo)體材料制造的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，對促進(jìn)我國芯片“自主、可控”有著重要意義。
截至今天收盤，和遠(yuǎn)氣體股價 22.52 元 / 股，漲幅 3.73%，總市值 36.03 億元。
南大光電創(chuàng)辦于 2000 年，起源于南京大學(xué)教授孫祥禎承擔(dān)的“高純度金屬有機(jī)化合物（MO 源）”國家“七五”科技項(xiàng)目，并于 2012 年在深交所上市。此后，南大光電業(yè)務(wù)逐漸由半導(dǎo)體 MO 源材料，擴(kuò)展至光刻膠、前驅(qū)體材料和特種氣體等。
今年 6 月，南大光電提交向不特定對象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券募集說明書，計劃募資 9 億元。南大光電披露，將投資 1 億元用于年產(chǎn) 140 噸高純磷烷、砷烷擴(kuò)產(chǎn)及砷烷技改項(xiàng)目，5 億元用于烏蘭察布南大微電子材料有限公司年產(chǎn) 7200T 電子級三氟化氮項(xiàng)目。
▲ 南大光電創(chuàng)始人、名譽(yù)董事長孫祥禎
今日收盤后，南大光電股價為 30.71 元 / 股，總市值 166.98 億元，漲幅 2.64%。
結(jié)語：各國角力半導(dǎo)體，國產(chǎn)特種氣體玩家或遇發(fā)展良機(jī)
這次俄烏沖突在戰(zhàn)事之外，更上演了一場半導(dǎo)體乃至整個科技行業(yè)的角力賽。
美國、歐洲等國家和地區(qū)利用在芯片設(shè)計領(lǐng)域的優(yōu)勢，對俄羅斯半導(dǎo)體和科技產(chǎn)業(yè)發(fā)起制裁；俄羅斯則利用稀有氣體等供應(yīng)方面的優(yōu)勢進(jìn)行反制，從而影響了整個半導(dǎo)體供應(yīng)鏈。
對于中國半導(dǎo)體供應(yīng)鏈來說，自主、安全仍是發(fā)展的關(guān)鍵。本次氖氣短缺，或成為國產(chǎn)特種氣體供應(yīng)商加速打入晶圓廠產(chǎn)線的契機(jī)，從而占據(jù)更大的市場地位。
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