11 月 18 日消息，據(jù)國外媒體報道，作為當(dāng)前全球唯一能向芯片制造商供應(yīng)極紫外光刻機的廠商，阿斯麥已推出了 TWINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D 等多個型號的極紫外光刻機，在源源不斷的向臺積電、三星電子等客戶交付。
而除了 TWINSCAN NXE 系列的極紫外光刻機，阿斯麥也在研發(fā)高數(shù)值孔徑極紫外光刻機，以應(yīng)對 2nm 及以下更先進(jìn)的制程工藝。
對于高數(shù)值孔徑極紫外光刻機，阿斯麥的 CEO 兼總裁彼得?維尼克本周在韓國首爾的一場新聞發(fā)布會上透露，將在 2024 年開始出貨，每臺的價格在 3 億到 3.5 億歐元（約 25.86 億元人民幣）。
就彼得?維尼克透露的價格而言，高數(shù)值孔徑極紫外光刻機的售價，要遠(yuǎn)高于他們目前在交付的 TWINSCAN NXE 系列極紫外光刻機。
阿斯麥的財報顯示，他們在今年二季度和三季度完成交付的極紫外光刻機均是 12 臺，就他們給出的營收及占比來計算，二季度平均每臺的價格約 1.66 億歐元，三季度的平均價格約為 1.81 億歐元，均在 2 億歐元以下。
從阿斯麥官網(wǎng)所公布的消息來看，他們的高數(shù)值孔徑極紫外光刻機，將命名為 EXE 系列，數(shù)值孔徑將由 0.33 增至 0.55，已有 TWINSCAN EXE:5000 和 TWINSCAN EXE:5200 兩個型號，前者在 2018 年就已開始獲得客戶的訂單，后者從去年四季度也開始獲得訂單。
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