IT之家 6 月 13 日消息 從中微公司獲悉，6 月 9 日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司在上海總部舉辦電感耦合等離子體（ICP）刻蝕設(shè)備 Primo nanova 第 100 臺反應(yīng)腔交付客戶慶祝儀式。
IT之家了解到，Primo nanova 是中微公司于 2018 年發(fā)布的第一代電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備，采用了中微公司的電感耦合等離子體刻蝕技術(shù)。
中微公司表示，目前，Primo nanova 產(chǎn)品已成功進入海內(nèi)外十余家客戶的晶圓生產(chǎn)線，在邏輯芯片、DRAM 和 3D NAND 廠商的生產(chǎn)線上實現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)。
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