IT之家 7 月 2 日消息 今日南大光電發(fā)布消息,稱該公司 ArF 光刻膠產(chǎn)品拿到小批量訂單。在 5 月 31 日,江蘇南大光電材料股份有限公司公告稱,其控股子公司寧波南大光電材料有限公司自主研發(fā)的 ArF 光刻膠產(chǎn)品,再次通過了客戶認證,其具備 55nm 平臺后段金屬布線層的工藝要求。
IT之家了解到,ArF 光刻膠材料是半導體制造的關鍵材料,可以用于 90nm-14nm 甚至 7nm 技術節(jié)點的集成電路制造工藝。此前我國國產(chǎn)光刻膠主要集中在中低端產(chǎn)品,但是用于精密工藝的 ArF 光刻膠一直以來被國外廠商壟斷。
根據(jù)南大光電此前公告,ArF 光刻膠的市場前景好于預期。隨著國內 IC 行業(yè)的快速發(fā)展,自主創(chuàng)新 和國產(chǎn)化步伐的加快,以及先進制程工藝的應用,將大大拉動光刻膠的用量。
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