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全國首家 12 英寸晶圓再生工廠在合肥量產(chǎn)

2021/7/15 19:46:08 來源:IT之家 作者:問舟 責(zé)編:問舟
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IT之家 7 月 15 日消息 經(jīng)過多年發(fā)展,合肥已成為國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展最快、成效最顯著的城市之一。甚至每次出現(xiàn)關(guān)于合肥的新聞都會(huì)引起IT之家小伙伴的驚嘆。

據(jù)合肥市人民政府發(fā)布,合肥至微項(xiàng)目成為國內(nèi)最早具備 12 英寸晶圓再生及關(guān)鍵設(shè)備零部件再生能力的項(xiàng)目之一,全國首家 12 英寸晶圓再生工廠現(xiàn)已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

(科普: 所謂“晶圓再生”,指的是通過去除損耗控?fù)跗砻娴碾s質(zhì)和缺陷,使處理后的晶圓達(dá)到新片的標(biāo)準(zhǔn),實(shí)現(xiàn)其循環(huán)再利用,進(jìn)而為企業(yè)節(jié)約大量成本)

據(jù)介紹,合肥至微項(xiàng)目總投資近 10 億元,于 2020 年 3 月正式開工、2020 年 12 月項(xiàng)目設(shè)備調(diào)試、2021 年 3 月試生產(chǎn),并在今年 6 月進(jìn)入量產(chǎn)階段。

圖片

IT之家了解到,合肥量產(chǎn)的這一晶圓再生項(xiàng)目以 14 納米晶圓廠的再生晶圓需求為設(shè)計(jì)基礎(chǔ),是服務(wù)于中國半導(dǎo)體高階市場(chǎng)的首條投產(chǎn)的 12 英寸晶圓再生產(chǎn)線。

官方表示,該項(xiàng)目全面達(dá)產(chǎn)后,可形成每年 168 萬片晶圓再生及 120 萬件零部件清洗的能力,滿產(chǎn)后年產(chǎn)值可超過 6 億元。

據(jù)悉,這是國內(nèi)最先量產(chǎn)的 12 英寸晶圓再生工廠,該項(xiàng)目將對(duì)我國半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生重大影響。

值得一提的是,國內(nèi)高端晶圓此前若要進(jìn)行再生需求都需要先送到日本、中國臺(tái)灣等地進(jìn)行處理。

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