近日，比利時(shí)微電子研究中心（IMEC）發(fā)布了 1nm 工藝下金屬互連的新方法，解決了 1nm 節(jié)點(diǎn)互連發(fā)熱問題。
事實(shí)上，IMEC 已經(jīng)成為了全球半導(dǎo)體生態(tài)中的重要一環(huán)，在先進(jìn)制程工藝的開發(fā)中有著舉足輕重的地位，和美國英特爾、IBM 并稱微電子領(lǐng)域“3I”。
而隨著全球開始關(guān)注半導(dǎo)體問題，IMEC 由于其重要性也受到了越來越多的關(guān)注。在上個(gè)月白宮對(duì)美國供應(yīng)鏈的評(píng)估中，IMEC 和荷蘭光刻機(jī)廠商 ASML 一并出現(xiàn)在了報(bào)告中。用一位業(yè)內(nèi)人士的話說，IMEC 是一個(gè)很少有人知道，但是每個(gè)人都應(yīng)該知道的地方。
彭博社也對(duì) IMEC 的首席執(zhí)行官 Luc Van den hove 進(jìn)行了采訪，以下是芯東西在不改變?cè)馇疤嵯逻M(jìn)行的編譯。
▲ IMEC 首席執(zhí)行官 Luc Van den hove（來源：彭博社）
一、中試線工藝超 5nm 2-3 代，價(jià)值超 25 億歐元
1984 年，幾位比利時(shí)的大學(xué)教授向比利時(shí)弗拉芒大區(qū)政府提議，建設(shè)一個(gè)微電子研究中心，解決高?？蒲泻彤a(chǎn)業(yè)脫節(jié)的問題。
弗拉芒大區(qū)政府很快就同意了這一建議，投入了價(jià)值 6200 萬歐元的比利時(shí)法郎，建立了 IMEC。一開始，IMEC 的資金大多由政府提供。
很快，IMEC 設(shè)計(jì)出一種新的合作模式，也就是 IMEC 工業(yè)聯(lián)盟項(xiàng)目（IIAP）。在這樣的合作模式下，廠商需要向 IMEC 提供入會(huì)費(fèi)和年費(fèi)。入會(huì)后，廠商就可以與 IMEC 合作開發(fā)技術(shù)。項(xiàng)目中，IMEC 掌握研發(fā)決策權(quán)與各方信息，但是各家廠商也可以向 IMEC 提出自己的質(zhì)疑，糾正其決策錯(cuò)誤。
而在 IMEC 和英特爾、臺(tái)積電、三星電子、應(yīng)用材料等 IC 供應(yīng)鏈巨頭達(dá)成了合作關(guān)系后，政府撥款占比逐步降低。如今，IMEC 75% 的資金來自于這些 IC 供應(yīng)鏈廠商，有超過 4500 名員工，是全球最重要的微電子研究機(jī)構(gòu)之一。
因?yàn)橛辛吮姸鄰S商的參與與資金支持，IMEC 擁有 1 條 200mm（8 英寸）和 1 條 300mm（12 英寸）晶圓中試線。其中 300mm 中試線配備有 EUV 光刻機(jī)等最先進(jìn)的設(shè)備，價(jià)值 25 億歐元（約合 30 億美元，210 億人民幣），比臺(tái)積電、三星電子量產(chǎn)的 5nm 工藝領(lǐng)先 2 到 3 代，讓 IMEC 的研究人員可以研究 2nm 及以下的節(jié)點(diǎn)工藝。
今年 5 月份，英特爾首席執(zhí)行官 Pat Gelsinger 評(píng)價(jià) IMEC 和 ASML 是歐洲的 2 顆寶石。
▲ IMEC 潔凈室中有著應(yīng)用材料、泛林半導(dǎo)體、ASM、ASML 等最先進(jìn)的半導(dǎo)體設(shè)備（來源：IMEC）
二、專注芯片節(jié)點(diǎn)演進(jìn)，曾聯(lián)手華為、中芯國際、高通研發(fā)先進(jìn)制程
近年來，隨著芯片制程工藝的不斷發(fā)展，摩爾定律正在逐漸失效。很多國家都在研發(fā)氮化鎵（GaN）、碳化硅（SiC）、氧化鋅（ZnO）和金剛石等寬禁帶半導(dǎo)體。
IMEC 的首席執(zhí)行官 Luc Van den hove 則認(rèn)為，這類半導(dǎo)體的市場有限：“我們相信硅是完美的平臺(tái)。”而 IMEC 會(huì)繼續(xù)將芯片節(jié)點(diǎn)縮小到 1nm 以下。
對(duì)于芯片技術(shù)的前景，Luc Van den hove 則認(rèn)為這將為很多行業(yè)帶來發(fā)展。此外，IMEC 在人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、生命科學(xué)等領(lǐng)域也有著較強(qiáng)的研發(fā)實(shí)力。Luc Van den hove 談到生命科學(xué)中的一些應(yīng)用將會(huì)在 5 年內(nèi)帶來“巨大的繁榮”，通過結(jié)合這些前沿技術(shù)，人們可以做到一些非凡的事情。
IMEC 此前也與中國公司、機(jī)構(gòu)進(jìn)行過一系列合作。2015 年，IMEC 與中芯國際、華為、高通四家公司宣布共同投資中芯國際集成電路新技術(shù)研發(fā)（上海）有限公司，開發(fā)下一代 CMOS 邏輯工藝；今年 2 月，IMEC 還成為了無錫半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)的會(huì)員單位。
▲ IMEC 潔凈室（來源：彭博社）
三、受美國重點(diǎn)關(guān)注，IMEC CEO 稱需保持冷靜
IMEC 強(qiáng)大的研發(fā)能力也吸引了美國的注意。
新美國安全中心（Center for a New American security）技術(shù)和國家安全項(xiàng)目主任 Martijn Rasser 稱，在美國政府與歐盟所建立的科技聯(lián)盟中，IMEC 可能會(huì)是其中的重點(diǎn)。
美國中情局（CIA）的前技術(shù)和創(chuàng)新工作人員也提到，由于 IMEC，其所在的比利時(shí)魯汶成為了政治人士和行業(yè)所關(guān)注的中心。
▲ 從 IMEC 大樓看魯汶市區(qū)（來源：彭博社）
Luc Van den hove 就此事透露，IMEC 正在就此事進(jìn)行討論。因?yàn)?IMEC 渴望“以積極的方式推動(dòng)行業(yè)發(fā)展，所以無論 IMEC 能夠做什么來支持（行業(yè)發(fā)展），都會(huì)接受這些討論”。
不過這也引發(fā)了一些技術(shù)上的盜竊行為。Luc Van den hove 稱，IMEC 遇到過一些員工不按照其行為準(zhǔn)則和價(jià)值觀行事的案件。他補(bǔ)充道，這樣的現(xiàn)象并不局限于任何一個(gè)國家。
Luc Van den hove 提到，IMEC 當(dāng)前研究能力并沒有因?yàn)檎螇毫Χ艿綋p害，“但是我們也必須面對(duì)現(xiàn)實(shí)，接受地緣政治緊張局勢正在加劇的事實(shí)。”
雖然如此，Luc Van den hove 說，各類前沿技術(shù)仍將帶來巨大的機(jī)會(huì)，保持冷靜非常重要。
▲ Luc Van den hove 手持晶圓（來源：彭博社）
結(jié)語：IMEC 成功關(guān)鍵在于合作、中立
IMEC 作為半導(dǎo)體制程的重要參與者，其成功的原因之一就是開放、中立的國際合作模式。在這樣的模式下，IMEC 推動(dòng)整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，也匯聚了包括中國在內(nèi)的全球各國技術(shù)人才。
而在當(dāng)前較為緊張的地緣政治下，美國等對(duì)其所施加的政治壓力，如果影響到了其中立的立場，或許將會(huì)動(dòng)搖 IMEC 立身之本。
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