9 月 1 日消息 為應(yīng)對當(dāng)?shù)匦酒瑥S需求,日本大廠住友化學(xué)擬在韓國興建先進半導(dǎo)體材料廠房,生產(chǎn)應(yīng)用于最先進制程的光刻膠,同時在日本增加新產(chǎn)線,整體最先進制程用光刻膠產(chǎn)能有望擴增 1.5 倍。
▲ 圖源:WBCSD
據(jù) MoneyDJ 報道,住友化學(xué) 8 月 31 日宣布,將加強最先進制程用光刻膠生產(chǎn),計劃在日本大阪工廠增設(shè) ArF 及 EUV 用光刻膠產(chǎn)線,預(yù)計在 2023 年上半年啟用生產(chǎn)。同時,其位于韓國益山市的全資子公司 Dongwoo Fine-Chem 也將興建浸潤式 ArF 用光刻膠產(chǎn)房,預(yù)計在 2024 年上半年啟用生產(chǎn)。
若上述計劃進展順利,到 2024 年,住友化學(xué)整體最先進制程用(ArF)光刻膠產(chǎn)能將較 2019 年提高 1.5 倍。
據(jù)了解,住友化學(xué) ArF 用光刻膠目前僅由日本大阪工廠生產(chǎn),由于在性能、品質(zhì)上具有優(yōu)勢,全球市占率高,而韓國的 Dongwoo Fine-Chem 工廠此前為公司 i 線、KrF 用光刻膠生產(chǎn)據(jù)點,擁有 20 年以上的生產(chǎn)經(jīng)驗。
據(jù)日經(jīng)新聞報道,此次住友化學(xué)決定在韓國興建 ArF 用光刻膠工廠,是為因應(yīng)當(dāng)?shù)乜蛻粝M浞稚⑸a(chǎn),借此穩(wěn)定供貨給韓國芯片廠使用。需要指出的是,此次住友化學(xué)增產(chǎn)的光刻膠產(chǎn)品不在日本對韓國出口管制的清單內(nèi)。
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