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京東方氧化物半導體顯示重要突破!展示 27 英寸 FHD 500Hz + 顯示屏

2022/1/28 22:46:12 來源:IT之家 作者:瀟公子 責編:瀟公子

IT之家 1 月 28 日消息,據京東方宣布,已在氧化物半導體顯示技術領域取得重要突破,攻克了銅(Cu)易擴散、易氧化和易鉆刻等業(yè)界難題,在業(yè)內率先實現銅互連堆疊結構的量產,及高刷新率、高分辨率、低功耗氧化物顯示技術集成,打破了國外壟斷,在行業(yè)內持續(xù)推出低功耗、超窄邊、500Hz + 電競顯示屏、超大尺寸 8K Oxide 120Hz、可變頻刷新率顯示等一系列高端技術和產品。同時在高遷移率 30+cm2/Vs 氧化物技術研發(fā)方面也有很大突破,為后續(xù)高端產品的性能提升奠定了技術基礎。

▲ 京東方 13.3 英寸氧化物 Full In Cell UHD 超窄邊框顯示屏

▲ 京東方 13.3 英寸氧化物 Full In Cell UHD 超窄邊框顯示屏

氧化物半導體顯示技術具備遷移率高、關態(tài)電流低、制程工藝簡單、可大尺寸化等優(yōu)點,能夠滿足未來產品高品質提升和降低能耗的雙重需求。然而,在氧化物技術產業(yè)化應用上,傳統(tǒng)的氧化物薄膜微結構在偏壓應力、光照、大電流下器件性能衰減等不穩(wěn)定性問題,以及銅工藝與氧化物工藝匹配問題,是亟待半導體顯示業(yè)界解決的普遍難題。

京東方研發(fā)出銅擴散阻擋技術,提出獨有的氮氧平衡理論、界面修復理論,同時產學研聯(lián)合,在材料、器件結構和原理上均實現了突破,解決了氧化物半導體顯示技術的量產難題,在國內率先實現量產。同時集成柵驅動電路嵌入陣列基板、觸控驅動的集成化技術、高透過率的薄膜光學模型等,既實現了產品性能提升,又實現了從傳統(tǒng)非晶硅 TFT 向氧化物導體顯示的技術升級。

京東方新型氧化物半導體顯示技術的突破主要體現四個方面:

01 材料及器件

京東方通過設計獨有的銅互連疊層布線氧化物新型堆疊結構,攻克了 Cu 易擴散、易氧化和易鉆刻等業(yè)界難題。掌握了自主高量產性的 Cu 緩沖層技術,在業(yè)內率先實現銅互連堆疊結構的氧化物量產,并在京東方合肥、重慶、南京、成都等六條量產線實現規(guī)模化量產。

02 獨創(chuàng)性理論

京東方率先提出氮氧平衡理論和界面修復理論,實現了氧化物特性和良率可控。通過氧化物器件中的氮氧缺陷(DNO)控制和有源層界面刻蝕修復技術,解決了由于溝道界面氧空位(Vo)缺陷和摻雜缺陷引起的 Vth 負偏問題,亮點不良發(fā)生率大幅降低。

03 顯示性能

京東方提出了柵極驅動電路集成模型,首次使用直流去噪模式,功耗降低 15% ,信賴性提升 400%,并引入整體復位信號,解決了 GOA 末行失效問題。在量產產品中首次提出并應用 TFT 散熱設計,GOA 壽命提升一倍以上,實現了全尺寸氧化物產品覆蓋。

04 功能集成

設計高透疊層模型和高透動態(tài)補償柱狀隔墊物方案、開發(fā)源極驅動信號多路轉化技術(MUX)、氧化物觸控集成(Oxide Full In Cell)技術和智能同步驅動(Smart Sync Driving)充電補償方案,實現了高刷新率、高分辨率氧化物顯示技術集成,在業(yè)內率先實現了 110 英寸 8K 120Hz 氧化物 GOA 量產。

▲ 京東方 110 英寸 Oxide 8K 120Hz 顯示屏

▲ 京東方 110 英寸 Oxide 8K 120Hz 顯示屏

京東方在半導體氧化物顯示技術在量產產品形態(tài)上的分布,從手機產品到超大的 110 英寸的電視產品,從 10 Hz 的低頻驅動產品到 500Hz + 的高頻驅動產品,從非觸屏到集成度更高的 Full In Cell 觸屏技術,基本實現了主流市場產品的全覆蓋。

▲ 京東方 27 英寸氧化物 FHD 500Hz + 顯示屏

▲ 京東方 27 英寸氧化物 FHD 500Hz + 顯示屏

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