IT之家 1 月 28 日消息，據京東方宣布，已在氧化物半導體顯示技術領域取得重要突破，攻克了銅（Cu）易擴散、易氧化和易鉆刻等業(yè)界難題，在業(yè)內率先實現銅互連堆疊結構的量產，及高刷新率、高分辨率、低功耗氧化物顯示技術集成，打破了國外壟斷，在行業(yè)內持續(xù)推出低功耗、超窄邊、500Hz + 電競顯示屏、超大尺寸 8K Oxide 120Hz、可變頻刷新率顯示等一系列高端技術和產品。同時在高遷移率 30+cm2/Vs 氧化物技術研發(fā)方面也有很大突破，為后續(xù)高端產品的性能提升奠定了技術基礎。
▲ 京東方 13.3 英寸氧化物 Full In Cell UHD 超窄邊框顯示屏
氧化物半導體顯示技術具備遷移率高、關態(tài)電流低、制程工藝簡單、可大尺寸化等優(yōu)點，能夠滿足未來產品高品質提升和降低能耗的雙重需求。然而，在氧化物技術產業(yè)化應用上，傳統(tǒng)的氧化物薄膜微結構在偏壓應力、光照、大電流下器件性能衰減等不穩(wěn)定性問題，以及銅工藝與氧化物工藝匹配問題，是亟待半導體顯示業(yè)界解決的普遍難題。
京東方研發(fā)出銅擴散阻擋技術，提出獨有的氮氧平衡理論、界面修復理論，同時產學研聯(lián)合，在材料、器件結構和原理上均實現了突破，解決了氧化物半導體顯示技術的量產難題，在國內率先實現量產。同時集成柵驅動電路嵌入陣列基板、觸控驅動的集成化技術、高透過率的薄膜光學模型等，既實現了產品性能提升，又實現了從傳統(tǒng)非晶硅 TFT 向氧化物導體顯示的技術升級。
京東方新型氧化物半導體顯示技術的突破主要體現四個方面：
01 材料及器件
京東方通過設計獨有的銅互連疊層布線氧化物新型堆疊結構，攻克了 Cu 易擴散、易氧化和易鉆刻等業(yè)界難題。掌握了自主高量產性的 Cu 緩沖層技術，在業(yè)內率先實現銅互連堆疊結構的氧化物量產，并在京東方合肥、重慶、南京、成都等六條量產線實現規(guī)模化量產。
02 獨創(chuàng)性理論
京東方率先提出氮氧平衡理論和界面修復理論，實現了氧化物特性和良率可控。通過氧化物器件中的氮氧缺陷（DNO）控制和有源層界面刻蝕修復技術，解決了由于溝道界面氧空位（Vo）缺陷和摻雜缺陷引起的 Vth 負偏問題，亮點不良發(fā)生率大幅降低。
03 顯示性能
京東方提出了柵極驅動電路集成模型，首次使用直流去噪模式，功耗降低 15% ，信賴性提升 400%，并引入整體復位信號，解決了 GOA 末行失效問題。在量產產品中首次提出并應用 TFT 散熱設計，GOA 壽命提升一倍以上，實現了全尺寸氧化物產品覆蓋。
04 功能集成
設計高透疊層模型和高透動態(tài)補償柱狀隔墊物方案、開發(fā)源極驅動信號多路轉化技術（MUX）、氧化物觸控集成（Oxide Full In Cell）技術和智能同步驅動（Smart Sync Driving）充電補償方案，實現了高刷新率、高分辨率氧化物顯示技術集成，在業(yè)內率先實現了 110 英寸 8K 120Hz 氧化物 GOA 量產。
▲ 京東方 110 英寸 Oxide 8K 120Hz 顯示屏
京東方在半導體氧化物顯示技術在量產產品形態(tài)上的分布，從手機產品到超大的 110 英寸的電視產品，從 10 Hz 的低頻驅動產品到 500Hz + 的高頻驅動產品，從非觸屏到集成度更高的 Full In Cell 觸屏技術，基本實現了主流市場產品的全覆蓋。
▲ 京東方 27 英寸氧化物 FHD 500Hz + 顯示屏
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