3 月份美國 3M 公司停止運營其位于比利時的 PFAS(全氟 / 多氟烷基化合物)制冷劑工廠,一度引發(fā)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)界關(guān)注,因 PFAS 在光刻、刻蝕工藝中有重要應(yīng)用。
日經(jīng)新聞日前刊文指出,這一事件只是歐美環(huán)保新規(guī)影響的開端,由于歐洲國家試圖在 2025 年全面限制 PFAS 的制造、使用和出口,業(yè)界擔(dān)心由于替代產(chǎn)品導(dǎo)入存在不確定性,此舉將導(dǎo)致相關(guān)半導(dǎo)體材料的長期短缺。
該報還預(yù)測,未來亞洲地區(qū)環(huán)保法規(guī)也將逐步加強,半導(dǎo)體廠商應(yīng)未雨綢繆,提早進(jìn)行替代來源或替代技術(shù)的儲備。
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