設(shè)置
  • 日夜間
    隨系統(tǒng)
    淺色
    深色
  • 主題色

煤煙灰里提純出來的中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

2022/6/5 8:40:58 來源:愛集微 作者:戴輝Steve 責(zé)編:汪淼

因?yàn)橛蛢r(jià)高企,導(dǎo)致新能源汽車(混動(dòng) HYBRID、純電動(dòng))發(fā)展更快了。

動(dòng)力電池里所用到的“鋰”元素,出現(xiàn)了價(jià)格的跳變。電池級碳酸鋰報(bào)價(jià)從 2021 年初的不足 5 萬元 / 噸到今年 3 月份 52 萬元 / 噸,近期有所回落,也在 45.2 萬元~47.3 萬元間,均價(jià) 46 萬元 / 噸。

這么算來,過去兩年,價(jià)格上漲了近 10 倍。因?yàn)閯?dòng)力電池越用越多,指望鋰價(jià)大幅回調(diào)顯然也是不現(xiàn)實(shí)的。馬斯克同學(xué)表示,要考慮是否進(jìn)入采礦和提煉領(lǐng)域了。

這讓我想起了“”元素的故事。這是晶體管時(shí)代里最重要的元素。老百姓享受到的最大的好處是:半導(dǎo)體收音機(jī)。

電影《我和我的祖國》里,80 年代上海弄堂老百姓用半導(dǎo)體收音機(jī)聽女排奪冠

▲ 電影《我和我的祖國》里,80 年代上海弄堂老百姓用半導(dǎo)體收音機(jī)聽女排奪冠

鍺曾經(jīng)隨著晶體管一度火爆,又隨著集成電路(采用硅工藝)發(fā)展而落寞,近年又隨著新技術(shù)應(yīng)用而重新回到大家的視野:王“鍺”歸來!

鍺有良好的半導(dǎo)體性質(zhì),如電子遷移率、空穴遷移率等等,高純鍺單晶具有高的折射系數(shù),對紅外線透明,不透過可見光和紫外線。因此,它在半導(dǎo)體、航空航天測控、核物理探測、光纖通訊、紅外光學(xué)與成像、太陽能電池、化學(xué)催化劑等領(lǐng)域都有廣泛而重要的應(yīng)用。

長壽命、高可靠、平均光電轉(zhuǎn)換效率約 30% 的三結(jié)砷化鎵太陽能電池,具有高效率、高電壓、高溫特性好等優(yōu)點(diǎn),在“玉兔”號月球車、天問一號火星任務(wù)探測、神舟九號、陸地探測一號衛(wèi)星上采用,比以前采用的晶體硅太陽能光伏電池或者單結(jié)砷化鎵太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率要高。砷化鎵較硅質(zhì)在物理性質(zhì)上要更脆,這一點(diǎn)使得其加工時(shí)比較容易碎裂,所以,常把其制成薄膜,并使用襯底(常為 Ge [鍺]),來對抗其在這一方面的不利,但是也增加了技術(shù)的復(fù)雜度。

天問一號火星任務(wù)探測器采用太陽能電池

▲ 天問一號火星任務(wù)探測器采用太陽能電池

2020 年全球鍺產(chǎn)量為 130 噸,中國排第一,鍺產(chǎn)量為 86 噸,中國鍺產(chǎn)量長期占全球鍺產(chǎn)量近六成以上的比例。2020 年 12 月 31 日,氧化鍺 (99.99%) 倫敦戰(zhàn)略金屬市場現(xiàn)貨價(jià)為 950 美元 / 千克。作為重要的稀有資源, 世界鍺的資源比較貧乏, 全世界已探明的鍺保有儲量約為 8600 金屬噸。我國保有儲量約 3500 金屬噸,全國已探明鍺礦產(chǎn)地約 35 處,遠(yuǎn)景儲量約 9600 金屬噸。鍺通常與鉛鋅礦伴生,或存在于褐煤中,主要分布于內(nèi)蒙古和云南,大型的礦山包括云南鍺業(yè)擁有的大寨鍺礦和梅子箐煤礦、馳宏鋅鍺的云南會(huì)澤礦區(qū)、內(nèi)蒙古勝利煤田等。生產(chǎn)主要集中在云南鍺業(yè)、馳宏鋅鍺、中鍺科技、內(nèi)蒙通力等幾家企業(yè)。

鍺(Germanium,舊譯鈤)是一種化學(xué)元素,是 1886 年德國化學(xué)家文克勒爾 C. A. Winkler(1838 – 1904)在弗萊堡礦業(yè)學(xué)院用光譜分析法首先發(fā)現(xiàn)的。英文名 Germanium 來自于德國國名 Germany 的拉丁名。

元素符號 Ge,原子序數(shù) 32,原子量 72.64,在化學(xué)元素周期表中位于第 4 周期、第 IVA 族,正處于金屬元素和非金屬元素的邊界。

“鍺”盡管帶“金”字偏旁,但其實(shí)是典型的半金屬(類金屬),兼具金屬性和非金屬性,導(dǎo)電性比一般金屬要差,比一般非金屬材料要強(qiáng)。

五種穩(wěn)定的碳族元素按照大陸地殼中的天然豐度排序,依次是硅(24.4%)、碳(0.2%)、鉛(12.6 ppm)、錫(1.5 ppm),最后是鍺(1.25 ppm)。注意到硅和鍺連在一起,它們兩者攪動(dòng)了整個(gè)電子世界。

鍺的比重為 5.36,熔點(diǎn)為 958℃,沸點(diǎn)為 2700℃。粉末狀的鍺呈暗藍(lán)色,結(jié)晶狀的鍺為銀白色脆金屬。鍺的化學(xué)性質(zhì)非常穩(wěn)定,很難與酸起反應(yīng),在空氣中也不會(huì)被氧化,但在熔融狀態(tài)下,極易與堿發(fā)生反應(yīng)。

鍺在自然界分布很散很廣。銅礦、鐵礦、硫化礦、煤礦以至巖石,泥土和泉水中都含有微量的鍺。然而,鍺卻非常分散,幾乎沒有比較集中的鍺礦。

煤煙灰中提取鍺確有其事,而且使用到今天?,F(xiàn)代地球化學(xué)之父,德國科學(xué)家 V.W.戈?duì)柕率┟滋赜?1930 年首次從煤灰的分析中發(fā)現(xiàn)鍺。

20 世紀(jì) 50 年代,美國建設(shè)了世界第一個(gè)鍺廠。美國主要從鋅鍺渣中提鍺,英國主要從含鍺煙塵中回收鍺。1960 年代比利時(shí)建設(shè)的鍺廠是世界上設(shè)計(jì)規(guī)模最大的鍺生產(chǎn)企業(yè),月生產(chǎn)金屬鍺 6 噸。

目前鍺廠所采用的原料有煤燃燒產(chǎn)出的含鍺煙塵、重有色金屬冶煉過程中回收的鍺精礦和半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中產(chǎn)出的含鍺廢料等。

中國最早提煉鍺就是從煙灰里。在煤中含有鍺,煤在燃燒時(shí)大部分鍺的化合物受熱蒸發(fā),與煙灰一起出來,進(jìn)到煙道后,溫度降低,便冷凝在煙道灰中。據(jù)測定,煙道灰中含鍺量可達(dá) 0.1%,有的甚至高達(dá) 2%,比煤中含鍺量高 100~2000 倍。從煙道灰或礦物中提取的鍺,通常是氧化鍺或硫化鍺。用氫、碳或鎂還原,可得到鍺的金屬粉末,再用 1000℃的高溫加熱,才能熔鑄成金屬鍺錠。用于制造半導(dǎo)體的鍺必須非常純凈,通常采用“區(qū)域熔煉”冶金法來提取。

上海電力大學(xué)吳江教授表示,中國一直在推進(jìn)這樣的研究,如煤灰的高附加值應(yīng)用以及鍺在太陽能電池中的應(yīng)用等。

一、鍺晶體管發(fā)明,成為電子科技核心

二次世界大戰(zhàn)期間,由于軍事方面對雷達(dá)和無線電技術(shù)的大量需求,英美不少研究機(jī)構(gòu)都投入精力研究半導(dǎo)體器件。找到合適的半導(dǎo)體,并用其制成晶體管元件,是二十世紀(jì)早期固體物理學(xué)家們探索的方向之一。早期人們認(rèn)識的半導(dǎo)體大多為金屬硫化物或氧化物,但實(shí)際上更合適的是半金屬單質(zhì)(硅或鍺)。

鍺和硅進(jìn)入了人們的研究視野,在美國尤其以 K. Lark-Horovitz 在 Purdue 大學(xué)的研究組對鍺的純化及其器件功能進(jìn)行了豐富詳細(xì)的研究。

與此同時(shí),美國貝爾實(shí)驗(yàn)室 W. Shockley、J. Bardeen 和 W. H. Brattain 組成的固體物理研究小組試圖要制造一種能替代電子管的半導(dǎo)體器件。1947 年 12 月 15 日,這種實(shí)驗(yàn)結(jié)出了碩果:他們用刀片在三角形金箔上劃出了兩道極細(xì)的縫隙,然后兩邊分別接上導(dǎo)線,用彈簧將其壓進(jìn)鍺塊(Lark-Horovitz 提供的鍺元件)表面。這是一個(gè)由鍺、電池、金線、彈簧、紙板、組成的小裝置。連好線后,當(dāng)鍺塊上的兩個(gè)接觸點(diǎn)越來越近時(shí),他們觀察到了電壓放大作用:1.3v 電壓被放大了 15 倍!改變歷史的第一個(gè)晶體管誕生了

2019 年科技老兵戴輝瞻仰貝爾實(shí)驗(yàn)室第一個(gè) transistor

▲ 2019 年科技老兵戴輝瞻仰貝爾實(shí)驗(yàn)室第一個(gè) transistor

看到了鍺巨大的商業(yè)價(jià)值之后,業(yè)界發(fā)展了單晶硅制造、提純鍺的區(qū)域熔煉技術(shù)和摻雜原子技術(shù)等。憑借著獨(dú)特的“氣質(zhì)”,從 1947 年到 1960 年,鍺在半導(dǎo)體原件制造業(yè)中扮演了核心地位,大多數(shù)元件都是以鍺晶體為核心生產(chǎn)出來的。

與鍺相比,雖然硅的禁帶更寬,電子和空穴遷移率不如鍺,但依然是一種性能很好的半導(dǎo)體,貝爾實(shí)驗(yàn)室在發(fā)表三極管論文的時(shí)候也已經(jīng)指出二者可望相互替代。硅的提純技術(shù)與鍺同時(shí)也在發(fā)展,但由于二氧化硅熔點(diǎn)較高,直到二十世紀(jì)五十年代后期才開發(fā)出可靠的工藝制造單晶硅,這也為硅在集成電路的大規(guī)模利用鋪平了道路。

二、集成電路發(fā)明,硅接替鍺成為新核心

1958 年,集成電路發(fā)明。當(dāng)時(shí)的半導(dǎo)體雙強(qiáng)德州儀器和仙童半導(dǎo)體相互 PK。

德州儀器的杰克?基爾比( Jack Kilby)發(fā)明了世界上第一塊混合集成電路,他用的是鍺晶片。

第一塊集成電路,淺藍(lán)色矩形是鍺晶片

▲ 第一塊集成電路,淺藍(lán)色矩形是鍺晶片

仙童半導(dǎo)體公司的羅伯特?諾伊斯(Robert Noyce)把注意力放在了硅晶片上。他的最初設(shè)想是:“把多種元件放在單一硅片上,同時(shí)用平面工藝將它們連接起來,這樣可以大幅降低電路的尺寸、功耗及成本。”諾伊斯創(chuàng)造性地在氧化膜上用“平面工藝”制作出鋁膜連線,使電子元件和導(dǎo)線合成一體,為半導(dǎo)體集成電路工藝和量產(chǎn)奠定了基礎(chǔ)。

Noyce saw that the solution to the problem of connecting the components was to evaporate lines of conductive metal (the “wires”) directly onto the silicon wafer’s surface, a technique known as the planar process.(WIKI:Invention of the integrated circuit)

▲ 1961: First Monolithic Silicon IC Chip. Invented by Robert Noyce, Fairchild

事實(shí)證明,這個(gè)路線是成功的,德州儀器也隨后采用了這條技術(shù)路線。Texas Instruments abandoned the IC designs by Kilby and received a contract for a series of planar ICs for space satellites。

仙童科技成為了芯片創(chuàng)業(yè)的“黃埔軍?!?/span>,并在四季如春的加州造就了“硅谷”這個(gè)稱號。2018 年,我和明銳理想冀運(yùn)景赴硅谷紀(jì)念集成電路發(fā)明 60 周年。

采用硅工藝的集成電路大量使用后,1960 年之后鍺元素在電子工業(yè)中的核心地位卻迅速被硅所取代。

今天幾乎所有的集成電路都使用硅作為基本材料,其年產(chǎn)量高達(dá) 800 萬噸左右,是鍺的數(shù)萬倍(2020 年全球鍺產(chǎn)量為 130 噸)。

由于鍺的載流子遷移率和散熱性都比硅要優(yōu)秀,在某些高速開關(guān)和需要密集散熱的半導(dǎo)體元件上使用鍺作為材料,高頻大功率器件上有一定用量,光電雪崩二極管用量較大。

大自然中,硅的可獲得性遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過鍺。

中國的硅提純起步并不晚。1960 年秋,601 實(shí)驗(yàn)所(中國電科 46 所前身)丁守謙團(tuán)隊(duì)在一次又一次的反復(fù)改良和試驗(yàn)之后,得到了一根純度達(dá)到 7 個(gè) 9(即 99.99999%)的硅單晶,這也是我國第一根區(qū)熔高純度的硅單晶。

不過,在集成電路浪潮中,中國當(dāng)年的進(jìn)步較為緩慢。

三、鍺元素從煙灰中“刨”出,中國晶體管一直繁榮到 80 年代

和西方不同,中國晶體管繁榮的時(shí)間很久。收音機(jī)、電視機(jī)中都大量采用鍺二極管和鍺三極管。事實(shí)上,鍺在中國電子工業(yè)的核心地位一直延續(xù)到了 1980 年代。之后,由于外來的先進(jìn)集成電路大量使用,鍺失去了中國電子業(yè)江湖老大地位。

1956 年 11 月,中國第一只晶體三極管在中國科學(xué)院北京應(yīng)用物理研究所半導(dǎo)體研究室誕生。在王守武、吳錫九等領(lǐng)導(dǎo)下,開展半導(dǎo)體鍺的研究工作。一方面抓鍺材料的提純,一方面親自設(shè)計(jì)制造了我國第一臺制備半導(dǎo)體鍺材料的單晶爐。

1957 年,搞電子管起家的北京電子管廠(774 廠、京東方前身)籌建半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室,自制設(shè)備開始研發(fā)鍺材料和鍺晶體管。

1957 年,林蘭英作為賓夕法尼亞大學(xué)第一位中國博士,也是學(xué)校歷史上的第一位女博士,放棄了美國工作,回國加入了中國科學(xué)院北京應(yīng)用物理研究所半導(dǎo)體研究室。1957 年 11 月,林蘭英與王守武共同努力,與北京電子管廠聯(lián)合,通過從煙灰中還原氧化鍺,再用區(qū)熔法提純,拉出了中國第一根鍺單晶,在我國半導(dǎo)體材料發(fā)展史上寫下了輝煌的一頁。在此之前,我國用于生產(chǎn)鍺半導(dǎo)體器件的鍺材料,均由前蘇聯(lián)提供。在此之后,僅用 1 個(gè)月的時(shí)間,又研制出了 1 公斤的 N 型和 P 型鍺單晶,提供給北京電子管廠,用于生產(chǎn)半導(dǎo)體收音機(jī)所需的鍺晶體管。

1958 年 8 月,上海無線電技術(shù)研究所和復(fù)旦大學(xué)物理系(謝希德教授)合作,試制成功第一只上海產(chǎn)鍺二極管和鍺三極管。上海無線電器材廠用這批國產(chǎn)鍺晶體管,于 1959 年國慶 10 周年前夕組裝出美多牌 872—1—1 型便攜式 7 管中波段超外差式收音機(jī) 300 臺并投放市場,首次實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)晶體管收音機(jī)商品化。

1959 年 2 月,774 廠又拉出了鍺單晶 —— 這是我國半導(dǎo)體工業(yè)首次拉出的鍺單晶,標(biāo)著著我國半導(dǎo)體晶體管的研發(fā)完成了從科學(xué)界向工業(yè)界的技術(shù)遷移。同時(shí),還制定出一套充分利用中國特色提純鍺錠和銻進(jìn)行摻雜拉晶的計(jì)算方法,并制定出制造二極管、三極管的鍺單晶技術(shù)要求。

此后形成了年產(chǎn)二極管 100 萬只,三極管 3 萬只的生產(chǎn)能力。為了使全國半導(dǎo)體器件工業(yè)迅速發(fā)展,上級要求 774 廠向各地移交鍺、硅器件的生產(chǎn)線,同時(shí)還要支援技術(shù)骨干。

60 年代,晶體管在中國開始大量生產(chǎn),并廣泛用于收音機(jī)之中。

礦石收音機(jī)里的檢波器,也由用礦石改為用鍺晶體二極管,通常用 2AP9 等型號。中學(xué)生和無線電愛好者大量采用。

常用的晶體管鍺檢波二極管 2AP9

▲ 常用的晶體管鍺檢波二極管 2AP9

百花牌礦石收音機(jī),戴輝攝于上海無線電博物館

▲ 百花牌礦石收音機(jī),戴輝攝于上海無線電博物館

四、上海冶煉廠半導(dǎo)體鍺分廠曾是全國最大的鍺生產(chǎn)廠

《上海有色金屬工業(yè)志》第三編粉末冶金和半導(dǎo)體材料第二章半導(dǎo)體材料第一節(jié)“鍺”里有詳細(xì)描述。

半導(dǎo)體材料是電子工業(yè)的基礎(chǔ)。鍺、硅化合物半導(dǎo)體等材料的出現(xiàn),迅速推動(dòng)了科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,特別是電子工業(yè)的發(fā)展,成為更新?lián)Q代最活躍的領(lǐng)域,有力地促進(jìn)大規(guī)模集成電路和功率元件、探測器、太陽能電池、微波、光電器件、制冷合金等的發(fā)展。

上海生產(chǎn)半導(dǎo)體材料是從 50 年代后期研制鍺多晶開始的。金屬鍺及其化合物在電子工業(yè)、軍事工業(yè)、石油化工、醫(yī)藥、激光、紅外光學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的用途。二氧化鍺可以制造光學(xué)玻璃熒光粉,并可作為催化劑用于石油提煉時(shí)轉(zhuǎn)化、去氫、汽油餾份的調(diào)整、彩色膠卷及聚脂纖維生產(chǎn)。四氯化鍺可以制造光導(dǎo)纖維,用于光通訊技術(shù)。鍺單晶可以制造晶體管、放大器、整流器和核輻射探測器等。鍺大量用作紅外材料,制造透鏡、紅外窗口、濾光片、棱鏡,成為夜視儀和熱成像儀的關(guān)鍵材料。這些儀器安裝在飛機(jī)、坦克、人造衛(wèi)星和宇宙飛船中,無論白天黑夜都能巡視目標(biāo),拍攝月球表面和地球上軍事目標(biāo)的照片。60 年代先后試制生產(chǎn)硅多晶、硅單晶、硅外延片、硅紅外線濾波罩、硅太陽能電池以及化合物半導(dǎo)體材料。廣泛應(yīng)用于航空、航天、自動(dòng)化儀器儀表、遙控、遙測、電子計(jì)算機(jī)、家用電器等領(lǐng)域。80 年代以來,各種半導(dǎo)體材料品種、規(guī)格、質(zhì)量都有新的發(fā)展,有些已接近或達(dá)到國際先進(jìn)水平。

1、煤煙灰還原干餾富集法提鍺

地殼中無單獨(dú)的鍺礦,只在閃鋅礦、銅鉛鋅硫化礦、黃鐵礦和煤炭中含有微量鍺。這些礦物在冶煉或燃燒時(shí)所產(chǎn)生的煙塵中含有鍺而成為提鍺的原料。1958 年初,國家科委在長春召開“從煤煙灰提鍺”經(jīng)驗(yàn)交流會(huì)。同年 3 月,上海市工業(yè)生產(chǎn)委員組織上海地區(qū)提鍺會(huì)戰(zhàn),并決定以上海冶煉廠為主,由該廠副廠長、總工程師田庚錫主持。抽調(diào)李顯光工程師和職工 200 多人,成立第五車間,開展從煙灰中提鍺大會(huì)戰(zhàn)。為了盡快取得鍺,在簡陋的臨時(shí)廠房內(nèi),利用陶瓷缸作浸出槽,廢舊電解槽作沉淀槽,木棒做攪拌槳進(jìn)行入工攪拌、浸出、沉淀等操作。經(jīng)過半年多的試驗(yàn),終于在同年 10 月獲得第一克鍺。由此填補(bǔ)了上海地區(qū)無鍺的空白。同時(shí),上海市有色金屬工業(yè)公司中心試驗(yàn)室也從煙道灰中提取鍺,1958 年冬獲得成功。由于煤灰中鍺的含量太低,浸出 1~2 噸煤煙灰才能得到一克鍺,處理量大,產(chǎn)量低,成本高達(dá) 16 萬元 / 公斤。

1959 年,上海冶煉廠田庚錫、楊云龍主持設(shè)計(jì)并試驗(yàn)成功“煤煙灰還原干餾富集法”工藝,將煤煙灰在 1200~1300℃溫度下和適當(dāng)?shù)倪€原氣氛下焙燒,使鍺揮發(fā)富集,獲得比原煤煙灰含鍺高 10 倍以上的富集灰。同年 10 月建造一座日處理 15 噸的富集爐,鍺回收率提高 30%,材料消耗降低,月產(chǎn)量增加到 300 克以上,受到上海市工業(yè)生產(chǎn)委員會(huì)的表彰。

2、熔融法提鍺

1959 年,在國防科委召開的提鍺經(jīng)驗(yàn)交流會(huì)上,上海冶煉廠獲悉江蘇溧水縣南關(guān)山的赤鐵礦含鍺高達(dá) 100~150 克 / 噸。1960 年在中國科學(xué)院上海冶金研究所和復(fù)旦大學(xué)協(xié)助下,研究成采用硫酸鈉溶融法提鍺的工藝。1960 年建造爐膛面積為 4.5 平方米反射爐一座,帶有機(jī)械攪拌的浸出槽 2 只,沉淀槽 2 只,操作條件有所改善。采用含鍺赤鐵礦提鍺,4 個(gè)月共提取鍺 15 公斤,成本低于 3 萬元 / 公斤。

接著該廠又用高爐揮發(fā)氯化鈉堿液淋洗吸收提鍺的試驗(yàn)。該工藝流程簡單,回收率高,處理量大,更適合于工業(yè)生產(chǎn)。1960 年第三季度建造兩座容積為 5 立方米的提鍺高爐及淋洗塔等附屬設(shè)備,擴(kuò)大鍺的生產(chǎn)。后溧水赤鐵礦供應(yīng)中斷。1962 年探得江蘇高淳縣產(chǎn)硅鐵礦含鍺 40~50 克 / 噸,可以供應(yīng)。該廠即與之簽訂協(xié)議,以解決鍺生產(chǎn)原料問題。同樣采用高爐揮發(fā)、堿液淋洗的工藝處理鍺硅鐵礦,生產(chǎn)到 1965 年。在此期間,不斷改進(jìn)操作方法,采用“大風(fēng)量、熱爐頂、高鈣渣”延長爐齡,擴(kuò)大日處理量,后又將堿液淋洗改為水淋洗,取得同樣的吸收效果。由于摸索出高爐配料、風(fēng)量及溫度控制、焦比等最佳工藝及技術(shù)參數(shù)而提高了鍺的回收率,每噸礦石可提取鍺 20 克以上,鍺的生產(chǎn)成本降低到 1.5~2.0 萬元 / 公斤。

3、直接蒸餾法提鍺

1962 年,云南會(huì)澤礦務(wù)局、貴州冶煉廠等單位從鉛鋅礦煙塵中回收鍺獲得成功,取得含 5~10% 的鍺精礦,為上海冶煉廠提供了新的資源。從 1963 年起該廠利用鍺精礦直接進(jìn)行蒸餾,制取四氯化鍺,然后經(jīng)過提純、水解、還原制取鍺錠。月產(chǎn)量達(dá)到 10 公斤以上,生產(chǎn)成本進(jìn)一步降低。

1963 年,冶金工業(yè)部頒發(fā)鍺錠質(zhì)量技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(暫行),對鍺錠必須進(jìn)行光譜分析 14 個(gè)雜質(zhì)元素,或者進(jìn)行物理測試,電阻率必須在 3 歐姆?厘米以上。當(dāng)時(shí)該廠生產(chǎn)的鍺錠電阻合格率僅 20%。為提高鍺錠質(zhì)量,先后采用鍺精礦加碳酸鈉在高溫下焙燒、蒸餾時(shí)添加氧化劑,四氯化鍺用飽和氯鹽酸萃取提純,增加真空熔鑄工藝去除低沸點(diǎn)雜質(zhì)等工藝,鍺錠合格率達(dá) 95% 以上。

1964 年 11 月,冶金工業(yè)部決定將上海冶煉廠鍺生產(chǎn)系統(tǒng)搬遷到鍺精礦的產(chǎn)地 —— 云南會(huì)澤礦務(wù)局生產(chǎn)。該廠派出干部、技術(shù)人員和生產(chǎn)骨干共 27 人赴會(huì)澤礦務(wù)局進(jìn)行安裝調(diào)試和組織生產(chǎn),1965 年 5 月生產(chǎn)出鍺錠,質(zhì)量技術(shù)指標(biāo)全部達(dá)到上海冶煉廠水平。(作者戴輝備注:會(huì)澤礦山是上市公司“馳宏鋅鍺”的最早起源)

4、鍺廢料再生利用提鍺

鍺作為半導(dǎo)體材料用于制造晶體管,利用率僅 30% 左右,近 70% 的鍺作為廢料被排棄。這些“廢料”含鍺高達(dá) 10% 以上。1965 年上海冶煉廠老工人羊華國、張軍書在參觀晶體管廠時(shí)看到這種情況深感可惜,當(dāng)即從陰溝中挖取含鍺廢料,回廠進(jìn)行試驗(yàn),制得優(yōu)質(zhì)鍺錠,返給用戶使用,深受歡迎,為鍺生產(chǎn)找到了新的原料來源。當(dāng)年鍺的產(chǎn)量達(dá) 2000 公斤以上。

1969 年,該廠蔣毅夫等在蒸餾工序首先采用耐酸搪瓷反應(yīng)鍋代替小容量玻璃燒瓶蒸餾四氯化鍺,使生產(chǎn)能力和效率提高 10 倍。同年 9 月又以通氯復(fù)蒸工藝代替飽和氯鹽酸萃取法提純四氯化鍺,改善了勞動(dòng)條件,擴(kuò)大了處理量。

隨著產(chǎn)量的不斷增加,四氯化鍺原采用玻璃瓶儲存,手工搬運(yùn),容易破損,極不安全。1973 年安裝 70 立升的聚四氟乙烯儲槽配以四氟乙烯管道閥門代替玻璃瓶儲存、輸送四氯化鍺,既安全可靠,又基本上實(shí)現(xiàn)管道化連續(xù)生產(chǎn)。1976 年擴(kuò)建鍺還原工場廠房,還原爐由原來 8 座增加到 16 座,真空熔鑄爐由 2 座增加到 3 座。至此,該廠鍺錠的年生產(chǎn)能力達(dá) 5000 公斤。

5、鍺錠區(qū)熔提純

還原鍺錠純度僅 99.99~99.999%(4N、5N),而用于生產(chǎn)鍺單晶的鍺錠純度要求 8N 或 9N。因此必須對鍺錠進(jìn)行區(qū)熔提純。1965 年 4 季度,上海冶煉廠參照上海元件五廠的工藝采用雙管區(qū)熔爐、高頻感應(yīng)加熱、水平移動(dòng)法區(qū)熔,產(chǎn)出電阻率達(dá)到 47 歐姆?厘米以上的鍺錠。但設(shè)備占地面積大,電能利用率低,且高頻磁場沒有屏蔽,危害工人健康。1976 年將雙管爐改成三管爐,高頻系統(tǒng)并入爐體,電氣控制集中于一個(gè)操作臺中,并用銅絲網(wǎng)對高頻進(jìn)行屏蔽。改進(jìn)后的設(shè)備占地面積小,電能利用率高,降低了高頻輻射,產(chǎn)量亦大幅度增加。1977 年區(qū)熔鍺錠產(chǎn)量由 1975 年的 7.2 噸增加到 11.5 噸。

6、鍺單晶

1958 年,上海元件五廠王傳鼎等用進(jìn)口鍺粉,在上海電爐廠研制的鍺單晶爐上試?yán)N單晶,翌年 6 月得第一根重 30 克的單晶。1960 年,該廠自行制造爐膛較大的臥式爐,生產(chǎn)的單晶供自用。1963 年改用石墨雙坩堝摻雜獲成功,單晶質(zhì)量提高,每爐投料增至 500 克,生產(chǎn)比較穩(wěn)定(1979 年停產(chǎn))。

1965 年 1 月,中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所袁詩鑫等利用水平生長諸單晶時(shí)摻入 4~10 大氣壓的汞蒸汽,成功地生長出合格的摻汞鍺單晶。制成長波紅外探測器,用于航空遙感。繼又在地質(zhì)、水文勘探、環(huán)境保護(hù)、森林防火,軍事偵察等方面應(yīng)用。

1966 年,上海冶煉廠建造單晶爐,采用鉬絲加熱,氫氣保護(hù),石墨單坩堝,投料量 900 克 / 爐。4 月 24 日拉出第一根合格鍺單晶。8 月,單晶廠房落成,安裝小型單晶爐 4 座,通過調(diào)試,當(dāng)年產(chǎn)出合格鍺單晶 37 公斤。1972 年進(jìn)行工藝改革,采用大型雙坩堝拉晶,投料量擴(kuò)大到 1600 克 / 爐,年產(chǎn)量達(dá) 2.9 噸,品種規(guī)格也有增加。除常規(guī)產(chǎn)品外,還試制了重?fù)芥?P 型鍺單晶、摻金鍺單晶和直徑 200 毫米大直徑單晶等新品種。產(chǎn)量及品種在國內(nèi)處于領(lǐng)先地位。

1975 年第二次工藝改革,采用懸浮坩堝拉制鍺單晶,使單晶的電阻率均勻性提高,減少了位錯(cuò)缺陷,成品率提高 1 倍,年產(chǎn)量達(dá) 5.5 噸,創(chuàng)生產(chǎn)歷史最高紀(jì)錄。技術(shù)員羅志華在單晶爐上試裝溫度程序控制裝置取得成功,實(shí)現(xiàn)了拉晶半自動(dòng)化。

1980 年,技術(shù)員虞君耐和老工人朱進(jìn)發(fā)根據(jù)懸浮坩堝和雙坩堝的特點(diǎn),對坩堝的形狀及熱場控制進(jìn)行新的設(shè)計(jì)獲得突破。1981 年在生產(chǎn)中推廣應(yīng)用后改善了鍺單晶縱向、徑向電阻率均勻性,減少雜質(zhì)沾污,成品率提高,投料量增加到 4000 克 / 爐,效率提高 2.5 倍,年產(chǎn)鍺單晶達(dá)到 8 噸。

1985 年以后,將單晶爐全部改為 TDR—40 型,采用石墨加熱器加溫,全部推廣溫度程序控制,爐內(nèi)保護(hù)氣氛由氫氣改為氬氣,產(chǎn)品合格率大幅度提高。

7、鍺單晶片

1968 年 7 月,上海冶煉廠開始生產(chǎn)鍺片。首先將鍺單晶在內(nèi)圓切片機(jī)上切成厚度為 0.24~0.34 毫米大圓片,再用金剛砂漿在行星式磨片機(jī)上研磨平整,然后用劃片機(jī)劃成 1×1 或 2×2 毫米小方片,或用超聲波切片切成直徑 3 毫米、4 毫米、6 毫米的小圓片,直接供給晶體管廠使用??朔N片薄、脆、容易斷裂和精度要求高等操作上的困難。當(dāng)年產(chǎn)出鍺片 19 公斤。隨著設(shè)備的不斷更新,工藝的革新,鍺片的產(chǎn)量逐年提高。1981 年達(dá) 1410 公斤,創(chuàng)歷史最高水平。1984 年為滿足用戶的需要采用研磨與化學(xué)腐蝕相結(jié)合的工藝,生產(chǎn)超薄鍺片。同年 9 月起,為上海半導(dǎo)體器件廠提供厚度為 0.16 毫米的超薄鍺片,滿足該廠從日本引進(jìn)的自動(dòng)化鍺管生產(chǎn)線的需求,鍺管質(zhì)量參數(shù)及成品率均達(dá)到日本水平,產(chǎn)品返銷到日本。

8、高純四氯化鍺

1979 年 9 月,上海冶煉廠承擔(dān)市下達(dá)的研制光導(dǎo)纖維用高純四氯化鍺的任務(wù)。經(jīng)研究確定在復(fù)蒸提純工序之后,再增加石英篩板塔,精餾提純四氯化鍺,試驗(yàn)獲得成功。產(chǎn)出四氯化鍺純度達(dá)到 SN,Cu、Mn、Ni、Co 等 8 個(gè)元素雜質(zhì)總量少于 10PPb,符合制備光導(dǎo)纖維的標(biāo)準(zhǔn)。由該廠四氯化鍺生產(chǎn)的光纖及制成的鍺硅系光纜已用于北京 Pcm—120 路光通訊試驗(yàn)段,試驗(yàn)證明光損耗在 5db / 公里以下,清晰度高。1982 年 10 月通過上海市科學(xué)技術(shù)委員會(huì)光纖用高純四氯化鍺技術(shù)鑒定會(huì)鑒定。1984 年,四氯化鍺出口美國,因質(zhì)優(yōu)獲得好評。

經(jīng)過 30 年的研制開發(fā),上海冶煉廠半導(dǎo)體鍺分廠成為全國最大的鍺生產(chǎn)廠,產(chǎn)量占全國 70% 左右,產(chǎn)品品種規(guī)格比較齊全。1981 年產(chǎn)量及經(jīng)濟(jì)效益達(dá)到頂峰。這一年生產(chǎn)還原鍺錠 8884 公斤,區(qū)熔鍺錠 16933 公斤,鍺單晶 7148 公斤,鍺片 1409 公斤,利潤 1070 萬元。80 年代后期由于集成電路的發(fā)展,鍺晶體管的用量減少,鍺的需求量和產(chǎn)量相應(yīng)下降。

廣告聲明:文內(nèi)含有的對外跳轉(zhuǎn)鏈接(包括不限于超鏈接、二維碼、口令等形式),用于傳遞更多信息,節(jié)省甄選時(shí)間,結(jié)果僅供參考,IT之家所有文章均包含本聲明。

相關(guān)文章

關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體,

軟媒旗下網(wǎng)站: IT之家 最會(huì)買 - 返利返現(xiàn)優(yōu)惠券 iPhone之家 Win7之家 Win10之家 Win11之家

軟媒旗下軟件: 軟媒手機(jī)APP應(yīng)用 魔方 最會(huì)買 要知