IT之家 11 月 26 日消息，據(jù)中國(guó)光谷、湖北衛(wèi)視等報(bào)道，華中科技大學(xué)教授劉世元?jiǎng)?chuàng)立的宇微光學(xué)軟件有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“宇微光學(xué)”），已成功研發(fā)全國(guó)產(chǎn)、自主可控的計(jì)算光刻 OPC 軟件，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。目前正在做集成與測(cè)試，并到芯片生產(chǎn)廠商做驗(yàn)證，孵化企業(yè)的武漢光電工研院也將提供技術(shù)轉(zhuǎn)化服務(wù)。
OPC 軟件，即“光學(xué)鄰近校正軟件”，是芯片設(shè)計(jì)工具 EDA 的一種，沒(méi)有它，即使用了光刻機(jī)，也造不出芯片。
據(jù)劉世元介紹，光刻是芯片制造中最為關(guān)鍵的一種工藝，通過(guò)光刻成像系統(tǒng)，將設(shè)計(jì)好的圖形轉(zhuǎn)移到硅片上。隨著芯片尺寸不斷縮小，硅片上的曝光圖形會(huì)產(chǎn)生畸變。在 90nm 甚至 180nm 以下芯片的光刻制造前，都必須采用一類(lèi)名為 OPC（光學(xué)臨近校正）的算法軟件進(jìn)行優(yōu)化。沒(méi)有 OPC，所有 IC 制造廠商將失去將芯片設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)化為芯片產(chǎn)品的能力。
劉世元是華中科技大學(xué)光學(xué)與電子信息學(xué)院、機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院雙聘教授，博士生導(dǎo)師；華中科技大學(xué)集成電路測(cè)量裝備研究中心主任，同時(shí)也是光谷實(shí)驗(yàn)室集成電路測(cè)量檢測(cè)技術(shù)創(chuàng)新中心主任。他早年師從華中理工大學(xué)前校長(zhǎng)、著名機(jī)械學(xué)家楊叔子院士，于 1998 年獲工學(xué)博士學(xué)位。
劉世元在 2002 年加盟上海微電子裝備有限公司 (SMEE)，承擔(dān)國(guó)家 863 重大專(zhuān)項(xiàng) ——“100nm 光刻機(jī)”研制任務(wù)，為總體組成員、控制學(xué)科負(fù)責(zé)人。劉世元組建了 SMEE 第一個(gè)控制工程實(shí)驗(yàn)室，解決了掃描投影光刻機(jī)中掩模臺(tái)、工件臺(tái)、曝光劑量等同步控制的技術(shù)難題。
2020 年 10 月，劉世元成立宇微光學(xué)公司。目前，團(tuán)隊(duì)除 2 名行政人員外，全部為研發(fā)人員，他們來(lái)自中國(guó)、美國(guó)、俄羅斯等不同國(guó)家，在相關(guān)領(lǐng)域均為頂尖技術(shù)專(zhuān)家，30% 以上成員擁有博士學(xué)位，具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。最終打造出自主可控的 OPC 軟件算法。
IT之家獲悉，宇微光學(xué)近期宣布完成 Pre-A 輪數(shù)千萬(wàn)元融資。本輪融資完成后，宇微光學(xué)將進(jìn)一步加強(qiáng)各核心模塊的集成化與軟件產(chǎn)品化，同時(shí)對(duì)各項(xiàng)軟件參數(shù)進(jìn)行標(biāo)定、測(cè)試與驗(yàn)證。下一步，宇微光學(xué)將加快產(chǎn)品推廣步伐，加快進(jìn)入國(guó)內(nèi)外芯片制造廠商市場(chǎng)，力爭(zhēng)成為全球芯片產(chǎn)業(yè)鏈中重要的一環(huán)。
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