IT之家 12 月 17 日消息，據(jù)蘇州納米城發(fā)布，芯?？萍冀谠谔K州工業(yè)園區(qū)舉行新建千級超凈車間及辦公室開工儀式。該項目占地面積約 4000m2，將用于大尺寸鍵合設備、激光鍵合設備的研發(fā)生產(chǎn)。
芯睿科技成立于 2021 年 2 月，專注于半導體鍵合解鍵合設備的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，晶圓尺寸 2 英寸-12 英寸，產(chǎn)品應用覆蓋半導體全領域，為客戶提供臨時鍵合、永久鍵合整體方案。公司核心研發(fā)團隊均有 20 年以上半導體制程經(jīng)驗，其中碩博占比超三成，2021 年銷售額超 9000 萬，目前累計出貨近 50 臺，今年完成億元輪融資。未來 3 年，芯?？萍寄赇N售目標突破 2 億元，年產(chǎn)值 80 臺。
IT之家了解到，晶圓鍵合機是實現(xiàn)系統(tǒng)微型化和系統(tǒng)更高集成度的關鍵工藝設備，尤其是先進的 MEMS、MOEMS 制造的關鍵設備之一。其鍵合工藝主要包括陽極鍵合、共晶鍵合、熔融鍵合。該設備主要應用于微機電系統(tǒng)極限環(huán)境可靠性測試試驗中的封裝測試過程，為各種微機電器件提供不同類型的鍵合封裝，為檢驗不同材料、鍵合條件對可靠性的影響提供鍵合技術支持。
蘇州納米城現(xiàn)有 Ⅰ 區(qū)、Ⅱ 區(qū)納米健康產(chǎn)業(yè)園和 Ⅲ 區(qū)第三代半導體產(chǎn)業(yè)園三個載體，已投用載體總建筑面積共 52 萬㎡，另有在建項目總建筑面積約 43 萬㎡，其中，蘇州納米城企業(yè)總部及高端研發(fā)基地項目主樓已于今年初封頂，全面啟用在即，國家第三代半導體技術創(chuàng)新中心研發(fā)于產(chǎn)業(yè)化基地項目的企業(yè)總部工程在今年 10 月全面開啟地上主體結構建設。同時蘇州納米城還在陸續(xù)規(guī)劃建設新的項目，用于重大創(chuàng)新載體和企業(yè)產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)基地等，建成后可增加總建筑面積約 93 萬㎡。
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