IT之家 4 月 18 日消息，荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商阿斯麥（ASML）近日向一家未披露名稱的公司交付了其第二臺高數(shù)值孔徑 (NA) 極紫外 (EUV) 光刻機(jī)。
這臺高端光刻機(jī)旨在制造比當(dāng)前低 NA EUV 設(shè)備所能制造的更高密度的芯片。據(jù)路透社報(bào)道，第二臺高端光刻機(jī)的出貨意味著這一最新技術(shù)正逐漸被采用。
然而，ASML 對買家身份諱莫如深，只能猜測其身份，路透社指出英特爾、臺積電和三星都是潛在客戶。事實(shí)上，英特爾已經(jīng)購買了首臺高數(shù)值孔徑 EUV 光刻機(jī)，用于其即將推出的 14A 制程節(jié)點(diǎn)。正如 ASML 在提交給美國證券交易委員會的文件（第 13 頁）中提到的，英特爾在 2024 年初于其位于俄勒岡州希爾斯伯勒的工廠接收了首臺 TWINSCAN EXE:5200 系統(tǒng)。臺積電和三星也已經(jīng)確認(rèn)有意采用 ASML 的高數(shù)值孔徑 EUV 光刻機(jī)。
不過，這三家頂尖半導(dǎo)體公司并非唯一可能的買家。去年 12 月，有傳聞稱由 IBM 和美光等公司運(yùn)營的一家正在建設(shè)的半導(dǎo)體工廠將獲得一臺 ASML 的高數(shù)值孔徑 EUV 光刻機(jī)，這臺機(jī)器有可能就送到了那里。此外，如果機(jī)器被英特爾、臺積電或三星拿到手，很可能難以保密太久。
盡管目前為止只有兩臺這樣的高端光刻機(jī)投入使用，但 ASML 計(jì)劃生產(chǎn)更多設(shè)備，該公司已經(jīng)收到額外的 10 到 20 臺訂單，每臺售價 3.5 億歐元（IT之家備注：當(dāng)前約 27.02 億元人民幣），這意味著 ASML 目前已收到至少 35 億歐元的訂單。結(jié)合已經(jīng)售出的兩臺機(jī)器，預(yù)計(jì) ASML 未來高數(shù)值孔徑 EUV 光刻機(jī)的銷售額將超過 40 億歐元。
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