IT之家 4 月 18 日消息,荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商阿斯麥(ASML)近日向一家未披露名稱的公司交付了其第二臺高數(shù)值孔徑 (NA) 極紫外 (EUV) 光刻機(jī)。
這臺高端光刻機(jī)旨在制造比當(dāng)前低 NA EUV 設(shè)備所能制造的更高密度的芯片。據(jù)路透社報(bào)道,第二臺高端光刻機(jī)的出貨意味著這一最新技術(shù)正逐漸被采用。
然而,ASML 對買家身份諱莫如深,只能猜測其身份,路透社指出英特爾、臺積電和三星都是潛在客戶。事實(shí)上,英特爾已經(jīng)購買了首臺高數(shù)值孔徑 EUV 光刻機(jī),用于其即將推出的 14A 制程節(jié)點(diǎn)。正如 ASML 在提交給美國證券交易委員會的文件(第 13 頁)中提到的,英特爾在 2024 年初于其位于俄勒岡州希爾斯伯勒的工廠接收了首臺 TWINSCAN EXE:5200 系統(tǒng)。臺積電和三星也已經(jīng)確認(rèn)有意采用 ASML 的高數(shù)值孔徑 EUV 光刻機(jī)。
不過,這三家頂尖半導(dǎo)體公司并非唯一可能的買家。去年 12 月,有傳聞稱由 IBM 和美光等公司運(yùn)營的一家正在建設(shè)的半導(dǎo)體工廠將獲得一臺 ASML 的高數(shù)值孔徑 EUV 光刻機(jī),這臺機(jī)器有可能就送到了那里。此外,如果機(jī)器被英特爾、臺積電或三星拿到手,很可能難以保密太久。
盡管目前為止只有兩臺這樣的高端光刻機(jī)投入使用,但 ASML 計(jì)劃生產(chǎn)更多設(shè)備,該公司已經(jīng)收到額外的 10 到 20 臺訂單,每臺售價 3.5 億歐元(IT之家備注:當(dāng)前約 27.02 億元人民幣),這意味著 ASML 目前已收到至少 35 億歐元的訂單。結(jié)合已經(jīng)售出的兩臺機(jī)器,預(yù)計(jì) ASML 未來高數(shù)值孔徑 EUV 光刻機(jī)的銷售額將超過 40 億歐元。
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