香港大學(xué)開發(fā)革命性鉆石制備技術(shù)，10 秒產(chǎn)出 2 英寸金剛石晶圓

IT之家 12 月 24 日消息，香港大學(xué)工程學(xué)院聯(lián)合南方科技大學(xué)、北京大學(xué)，成功開發(fā)出突破性“邊緣暴露剝離法”技術(shù)，可快速批量生產(chǎn)大尺寸的超薄、超柔韌鉆石（金剛石）薄膜。

相比傳統(tǒng)昂貴、耗時且受尺寸限制的金剛石制備技術(shù)，新技術(shù)僅需 10 秒即可生產(chǎn)出兩英寸的鉆石晶圓，極大提升了生產(chǎn)效率和規(guī)?；芰?。而且該技術(shù)兼容現(xiàn)有半導(dǎo)體制造技術(shù)，可用于制造各種電子、光子、機(jī)械、聲學(xué)和量子器件。

IT之家援引原文報(bào)道，該方法的關(guān)鍵優(yōu)勢在于制造出的金剛石膜表面非常平坦，這對高精度微納制造至關(guān)重要。同時，金剛石膜的超強(qiáng)柔韌性為下一代可穿戴電子和光子設(shè)備提供了新的可能性。研究團(tuán)隊(duì)預(yù)期可廣泛應(yīng)用于電子、光子、機(jī)械、熱力、聲學(xué)，以至量子技術(shù)等領(lǐng)域。

香港大學(xué)褚智勤副教授表示，團(tuán)隊(duì)希望推動高質(zhì)量金剛石薄膜在不同領(lǐng)域的應(yīng)用，并將商業(yè)化這項(xiàng)尖端技術(shù)，通過與學(xué)術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界合作，加速“金剛石時代”的到來。

參考

• 港大工程學(xué)者開發(fā)革命性的鑽石製備技術(shù)

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