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我國首臺大尺寸單晶硅生長設備在西安試產(chǎn)成功,12 英寸硅晶圓不再受制于人

2020/12/27 23:03:42 來源:IT之家 作者:信鴿 責編:信鴿

IT之家12月27日消息 據(jù)科技日報消息,我國首臺新一代大尺寸集成電路單晶硅生長設備在西安實現(xiàn)一次試產(chǎn)成功。這是由西安理工大學和西安奕斯偉設備技術有限公司共同研制的。本次制成的單晶硅棒長度為 2.1 米,直徑達 300mm,也就是 12 英寸,標志著我國芯片制造領域中,12 英寸硅晶圓關鍵技術得到突破,解決了 “卡脖子”難題。

根據(jù)科技日報報道,該項目研發(fā)由西安理工大學劉丁教授的團隊領導。劉丁教授在半導體硅單晶生長領域精耕細作多年,先后主持承擔了多個國家科技重大專項、國家自然科學基金重點項目等,近年來取得了技術突破,獲得了一批標志性成果。

根據(jù)奕斯偉的介紹,硅單晶棒的制作首先需要將高純多晶硅放入石英坩堝,加熱至 1400℃以上,融化成硅熔液,再把籽晶浸入硅熔液,經(jīng)過引晶、放肩、轉(zhuǎn)肩、等徑生長、收尾等步驟,完成一根單晶硅棒的拉制。在單晶硅棒產(chǎn)出后,將晶棒切割成 300~400 毫米長的硅塊,之后采用線切割得到厚度約 1 毫米的薄片,再對其進行拋光、清洗加工,得到高品質(zhì)的拋光片。

IT之家了解到,西安奕斯偉硅片技術有限公司是國內(nèi)大型單晶硅制造骨干企業(yè),2018 年起與西安理工大學劉丁教授的團隊合作。該公司能夠制造無位錯、無原生缺陷、超平坦和優(yōu)良納米形貌的 12 英寸硅片,用于 28nm 以下集成電路芯片的制作。此外,公司還提供硅片加工、清洗及外延等服務。

目前,奕斯偉在西安擁有一座硅產(chǎn)業(yè)基地,分兩期進行建設,一期設計產(chǎn)能 50 萬片 / 月。本次大型單晶硅生長設備的成功制作,有利于滿足我國在集成電路發(fā)展的迫切需要,擺脫受制于人的情況。

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關鍵詞:晶圓,芯片,單晶硅

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