3月28日消息 在最近的 IEEE 國際可靠性物理研討會(huì)上,SK 海力士分享了其近期和未來的技術(shù)目標(biāo)愿景。SK 海力士認(rèn)為,通過將層數(shù)增加到 600 層以上,可以繼續(xù)提高 3D NAND 的容量。此外,該公司有信心借助極紫外(EUV)光刻技術(shù)將 DRAM 技術(shù)擴(kuò)展到 10nm 以下,以及將內(nèi)存和邏輯芯片整合到同一個(gè)設(shè)備中,以應(yīng)對(duì)不斷增加的工作負(fù)載。
SK 海力士首席執(zhí)行官李錫熙說:“我們正在改進(jìn) DRAM 和 NAND 各個(gè)領(lǐng)域的技術(shù)發(fā)展所需的材料和設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),并逐步解決可靠性問題。如果以此為基礎(chǔ),并取得創(chuàng)新,將來有可能實(shí)現(xiàn) 10nm 以下的 DRAM 工藝和堆疊 600 層以上的 NAND?!?/p>
3D NAND 未來將達(dá)到 600 層以上
歷史的經(jīng)驗(yàn)早已證明,3D NAND 無論是在性能還是在可拓展方面,都是一種非常高效的體系結(jié)構(gòu),因此,SK 海力士將在未來幾年繼續(xù)使用它。早在 2020 年 12 月,SK 海力士就推出了具有 1.6Gbps 接口的 176 層 3D NAND 存儲(chǔ)器,且已經(jīng)開始和 SSD 控制器制造商一起開發(fā) 512GB 的 176 層存儲(chǔ)芯片,預(yù)計(jì)在 2022 年會(huì)基于新型 3D NAND 存儲(chǔ)器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
就在幾年前,該公司認(rèn)為可以將 3D NAND 擴(kuò)展到 500 層左右,但是現(xiàn)在它已經(jīng)有信心可以在不久的將來將其擴(kuò)展到 600 層以上。隨著層數(shù)的增加,SK 海力士以及其他 3D NAND 生產(chǎn)商不得不讓每一層變得更薄,NAND 單元更小,并引入新的電介質(zhì)材料來保持均勻電荷,從而保持可靠性。
SK 海力士已經(jīng)是原子層沉積領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者之一,因此其下一個(gè)目標(biāo)是實(shí)現(xiàn)高深寬比(A/R)接觸(HARC)刻蝕技術(shù)。同樣,對(duì)于 600 層以上的 3D NAND,可能還需要學(xué)會(huì)如何將多層晶圓堆疊起來。
行業(yè)何時(shí)才能有 600 層以上的 3D NAND 設(shè)備以及如此驚人的層數(shù)將帶來的多大的容量,SK 海力士沒有給出具體預(yù)測(cè),不過該公司僅憑借 176 層技術(shù)就已經(jīng)著眼于 1TB 的產(chǎn)品,因此 600 層以上的產(chǎn)品容量將是巨大的。
DRAM 的未來:EUV 低于 10nm
與美光科技不同,SK 海力士認(rèn)為采用 EUV 光刻技術(shù)是保持 DRAM 性能不斷提高,同時(shí)提高存儲(chǔ)芯片容量、控制功耗最直接的方法。借助 DDR5,該公司不得不推出容量超過 16GB 的存儲(chǔ)設(shè)備,數(shù)據(jù)傳輸速率可達(dá) 6400GT/s,這些存儲(chǔ)設(shè)備將堆疊在一起以構(gòu)建大容量的 DRAM。
由于未來的存儲(chǔ)器產(chǎn)品必須滿足高性能、高容量以及低功耗等要求,因此先進(jìn)的制造技術(shù)變得更加重要。為了成功實(shí)施 EUV 技術(shù),SK 海力士正在開發(fā)用于穩(wěn)定 EUV 圖案和缺陷管理的新材料和光刻膠。另外,該公司正在尋求新的電池結(jié)構(gòu),同時(shí)通過使用由高介電常數(shù)材料制成更薄的的電介質(zhì)來保持其電容。
值得注意的是,SK 海力士現(xiàn)在也在尋找減少 “用于互連的金屬”電阻的方法,這表明 DRAM 晶體管的尺寸已經(jīng)變得非常小,以至于其觸點(diǎn)將成為瓶頸。借助 EUV,晶體管將縮小尺寸,提升性能并降低功耗,接觸電阻將成為 10nm 以下的瓶頸。不同的芯片生廠商用不同的方式來解決這一問題:英特爾決定使用鈷代替鎢,而臺(tái)積電和三星則選擇了選擇性鎢沉積工藝。SK 海力士未詳細(xì)說明其抗接觸電阻的方法,只是表明正在尋求下一代電極和絕緣材料并引入新工藝。
融合處理和內(nèi)存的近內(nèi)存處理
除了使 DRAM 速度更快并提高容量外,SK 海力士還期待融合內(nèi)存和處理技術(shù)。如今,用于超級(jí)計(jì)算機(jī)的尖端處理器使用通過插入器連接到它們的高帶寬(HBM),SK 海力士將此概念稱之為 PNM(近內(nèi)存處理),并斷言下一步將是處理器和內(nèi)存存在于單個(gè)封裝中的 PIM(內(nèi)存中處理),而該公司最終將尋找 CIM(內(nèi)存中計(jì)算),將 CPU 和內(nèi)存集成到一起。
SK 海力士的 CIM 在很大程度上與今年 2 月推出的三星 PIM(內(nèi)存處理)概念相似,并可能滿足 HJEDEC 定義的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。三星的 HBM- PIM 將以 300MHz 運(yùn)行的 32 個(gè)支持 FP16 的可編程計(jì)算單元(PCU)嵌入到 4GB 內(nèi)存裸片中??梢允褂贸R?guī)存儲(chǔ)命令控制 PCU,并執(zhí)行一些基本計(jì)算。三星聲稱其 HBM-PIM 內(nèi)存已經(jīng)在領(lǐng)先的 AI 解決方案提供商的 AI 加速器中進(jìn)行了試驗(yàn),該技術(shù)可以使用 DRAM 制造工藝制造,對(duì)于不需要高精度但可以從數(shù)量眾多的簡(jiǎn)化內(nèi)核中受益的 AI 和其他工作負(fù)載意義重大。
目前尚不清楚 SK 海力士是否將根據(jù)三星提出的即將發(fā)布的 JEDEC 標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施 CIM,或者采用專有技術(shù),但可以確定的是,全球最大的 DRAM 制造商對(duì)融合的存儲(chǔ)器和邏輯設(shè)備都抱有相似的愿景。
邏輯和內(nèi)存的融合對(duì)于利基應(yīng)用非常有意義,同時(shí),還有更多常見的應(yīng)用程序可以從內(nèi)存,存儲(chǔ)和處理器更緊密的集成中受益。為此,SK 海力士正在開發(fā)緊密集成異構(gòu)計(jì)算互連封裝技術(shù),這些封裝包含處理 IP、DRAM、NAND、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、射頻識(shí)別(RFID)和各種傳感器。不過,該公司尚未提供許多詳細(xì)信息。
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