IT之家 12 月 27 日消息，萬業(yè)企業(yè)今日在上證 E 互動平臺回復(fù)投資者，公司旗下凱世通的高能離子注入機(jī)設(shè)備已順利通過客戶驗(yàn)證并完成驗(yàn)收。這是國產(chǎn)高能離子注入機(jī)首次通過晶圓廠驗(yàn)證。
IT之家了解到，離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中，離子注入機(jī)即是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。
高能離子注入機(jī)是離子注入機(jī)中技術(shù)難度最大的機(jī)型。長久以來，因其極大的研發(fā)難度和較高的行業(yè)競爭壁壘，被稱為離子注入機(jī)領(lǐng)域的“珠穆朗瑪峰”，是我國集成電路制造裝備產(chǎn)業(yè)鏈上亟待攻克的關(guān)鍵一環(huán)。
凱世通官網(wǎng)顯示，上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司于 2009 年 4 月在張江成立，由國際離子注入技術(shù)協(xié)會終身常務(wù)理事 —— 陳炯博士為首的五位國際知名離子注入設(shè)備專家創(chuàng)立。該團(tuán)隊(duì)所開發(fā)的離子注入機(jī)全球銷售逾千臺。
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