IT之家 2 月 8 日消息，2 月 7 日晚間，萬業(yè)企業(yè)發(fā)布出售集成電路設(shè)備的公告，公司旗下北京凱世通擬出售多臺(tái) 12 英寸集成電路設(shè)備，包含低能大束流離子注入機(jī)和低能大束流超低溫離子注入機(jī)，總交易金額約為人民幣 6.58 億元。
作為集成電路前道四大核心設(shè)備，離子注入機(jī)設(shè)備的研制難度極大，僅次于光刻機(jī)，長(zhǎng)期被海外設(shè)備商應(yīng)用材料、Axceils 壟斷。據(jù)悉，目前一條月產(chǎn) 1 萬片的 12 英寸邏輯芯片生產(chǎn)線大約需要 20 臺(tái)以上離子注入機(jī)，因此國(guó)產(chǎn)替代空間極大，離子注入機(jī)市場(chǎng)前景廣闊。
萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通依托團(tuán)隊(duì)多年的設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)，取得了客戶驗(yàn)證、批量生產(chǎn)、正式訂單的依次突破，成為了國(guó)內(nèi)首家為 12 英寸主流芯片制造廠批量供應(yīng)半導(dǎo)體離子注入機(jī)的制造商，并率先應(yīng)用在 28nm 成熟制程產(chǎn)線。
凱世通已經(jīng)具備了正式量產(chǎn)的技術(shù)和良率要求。2021 年，凱世通自主研發(fā)的低能大束流離子注入機(jī)和高能離子注入機(jī)就已相繼順利通過客戶驗(yàn)證并完成驗(yàn)收。
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