集微網(wǎng)消息，消息人士稱，韓國設備廠商 Auros Technology 已經(jīng)從多家韓國和日本芯片制造商獲得了 8 英寸晶圓 overlay 測量設備的訂單，其 8 英寸 OL-100n 正在由多達 5 家公司進行評估。
據(jù) TheElec 報道，隨著 8 英寸 SiC 和 GaN 芯片需求不斷增長，全球對 8 英寸晶圓的需求正在增加。Auros Technology 的 OL-100n 是對原來生產(chǎn) 12 英寸晶圓的設備進行改進后生產(chǎn)的，可支持 6 英寸和 8 英寸晶圓。
據(jù)了解，在晶圓制造過程中，設計好的電路圖要先刻在晶圓上，然后再對晶圓進行切割和封裝。overlay 測量設備用于檢查晶圓上的電路圖案是否正確對齊，將這一過程直接影響晶圓制造的成品率。
Auros Technology 此前表示，其 OL-100n 設備可以對化學物質做出靈活反應并檢測電路團，還具備測量硅片上的氧化物和鋁膜的功能。該設備正被中國臺灣和韓國代工工廠采用，并被韓國研究機構用于芯片研究。
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