IT之家 8 月 22 日消息，今日，中微公司宣布，公司的電容耦合高能等離子體（CCP）刻蝕設(shè)備第 2000 個(gè)反應(yīng)臺(tái)順利付運(yùn)國(guó)內(nèi)一家半導(dǎo)體制造商。
中微公司指出，本批次運(yùn)付的 CCP 刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺(tái)有 Primo AD-RIE 及 Primo HD-RIE 系列產(chǎn)品。其中，Primo AD-RIE-e 是中微第二代電介質(zhì)刻蝕產(chǎn)品 Primo AD-RIE 的子產(chǎn)品，將應(yīng)用于 5 納米及以下的前段和中段的掩膜層刻蝕的開發(fā)及量產(chǎn)。
該交付批次的 Primo HD-RIE 則具有六個(gè)單反應(yīng)臺(tái)腔體的系統(tǒng)，定位于為中高深寬比刻蝕提供綜合解決方案。中微公司表示，Primo HD-RIE 在 3D-NAND 及 DRAM 中高深寬比溝槽及深孔刻蝕上表現(xiàn)優(yōu)異，在一些關(guān)鍵制程上已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。
IT之家了解到，數(shù)據(jù)顯示，中微公司 2022 年上半年新簽訂單金額同比增長(zhǎng) 61.83% 達(dá)到 30.57 億元，營(yíng)業(yè)收入同比增長(zhǎng)了 47.30% 達(dá)到 19.72 億元，扣非歸母凈利潤(rùn)同比增長(zhǎng)了 615.26% 達(dá)到 4.41 億元，其中刻蝕設(shè)備收入為 12.99 億元，較去年同期增長(zhǎng)約 51.48%。
廣告聲明：文內(nèi)含有的對(duì)外跳轉(zhuǎn)鏈接（包括不限于超鏈接、二維碼、口令等形式），用于傳遞更多信息，節(jié)省甄選時(shí)間，結(jié)果僅供參考，IT之家所有文章均包含本聲明。