IT之家 5 月 15 日消息，臺積電張曉強(qiáng)博士于 5 月 14 日出席在阿姆斯特丹舉辦的技術(shù)研討會，他直言：“ASML 的 High-NA EUV 太貴了，我非常喜歡 High-NA EUV 的能力，但不喜歡它的價(jià)格”。
張曉強(qiáng)博士目前擔(dān)任臺積公司業(yè)務(wù)開發(fā)及海外營運(yùn)辦公室的資深副總經(jīng)理暨副共同營運(yùn)長，負(fù)責(zé)公司的業(yè)務(wù)策略，包括技術(shù)藍(lán)圖、客戶溝通與互動；同時(shí)，共同領(lǐng)導(dǎo)海外營運(yùn)辦公室，負(fù)責(zé)海外營運(yùn)之組織效能。
IT之家今年 2 月報(bào)道，荷蘭半導(dǎo)體制造設(shè)備巨頭 ASML 宣布 High-NA Twinscan EXE 光刻機(jī)的價(jià)格約為 3.5 億歐元（IT之家備注：當(dāng)前約 27.16 億元人民幣）。相比之下，現(xiàn)有的 EUV 光刻機(jī)價(jià)格約為 1.7 億歐元（當(dāng)前約 13.19 億元人民幣）。
英特爾目前已經(jīng)采購了 ASML 的 High-NA EUV 設(shè)備，并且在 4 月 19 日宣布首臺設(shè)備商用 High NA EUV 光刻機(jī)組裝。
張曉強(qiáng)博士在采訪中表示，臺積電 A16 先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)（預(yù)定 2026 年年底前量產(chǎn)）不一定要使用 ASML 的 High-NA EUV 設(shè)置，可以繼續(xù)使用現(xiàn)有的舊款 EUV 設(shè)備完成，他表示：“我認(rèn)為現(xiàn)階段 EUV 設(shè)備有能力有辦法支持 A16”。
張曉強(qiáng)博士表示至于何時(shí)使用 ASML 的最新技術(shù)，將取決于何時(shí)最具成本效益，而且還要平衡臺積電能達(dá)成的技術(shù)。
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