IT之家 4 月 1 日消息，據(jù)東方晶源發(fā)布，近日，東方晶源首臺 8 英寸關鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）出機國內(nèi)集成電路制造和整體方案提供商燕東微電子。自 2021 年 6 月首臺 12 英寸 CD-SEM 出機后，東方晶源在電子束量測領域再次取得重大進展。
東方晶源首臺 8 英寸關鍵尺寸量測設備（型號：SEpA-c300）基于東方晶源 12 英寸關鍵尺寸量測設備的技術積累，面向 90nm 以上技術節(jié)點的成熟工藝。具有對標 12 英寸主流設備的成像分辨率、百微米級大視場成像能力、多樣化量測算法，可以滿足客戶對不同產(chǎn)品線、多種應用場景下的量測需求。以關鍵尺寸量測設備為例，目前市場上流通的 8 英寸設備絕大多數(shù)是二手翻新設備，具有性能指標不高及設備穩(wěn)定性差等問題。東方晶源旨在解決些問題。
公開信息顯示，東方晶源是國內(nèi)電子束檢測、量測設備領先廠商，曾承擔國家 02 重大專項 — 電子束硅片圖形缺陷檢測設備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目并驗收通過；首臺套電子束缺陷檢測設備（EBI）已完成產(chǎn)線驗證并獲得重復訂單。東方晶源在電子束檢測、量測領域已填補多項國內(nèi)空白。目前該公司已經(jīng)和國內(nèi)大部分主要晶圓代工企業(yè)建立了合作關系。
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